一种炉体装配工装及炉体装配方法.pdf
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一种炉体装配工装及炉体装配方法.pdf
本发明公开了一种炉体装配工装及炉体装配方法,工装包括支座、转轴和转筒,所述转筒包括两个端座和多个支撑杆,所述多个支撑杆设于两个端座之间,且多个支撑杆呈环形均匀固定在端座上,所述两个端座穿设在转轴上,所述转轴可拆卸的安装在支座上。方法包括炉丝上工装、卡绝缘子、在炉丝上焊接引线、铺保温棉、炉体下工装、棉圈和端盖安装的步骤。本发明利用上述工装,可实现炉丝、绝缘子、引线、保温棉、炉壳等高质量和高效率安装。利用辅助装置确保了两端棉圈准确安装,大大降低棉圈安装过程的损坏。
热处理设备立式炉体立式装配工装.pdf
本发明公开了一种热处理设备立式炉体立式装配工装,涉及设备工装技术领域。所述工装包括:轮体、结构架、圆台和上载圈;所述轮体设置在所述结构架的下部,用于支撑和移动所述工装;所述圆台设置在所述结构架的上部;所述上载圈设置在所述圆台的上部,用于固定和支撑热处理设备立式炉体。所述工装为炉体立式装配提供了工具基础,减小了炉体装配的误差,提高了装配效率。另外,通过设置所述轮体,可以方便的移动或固定所述工装;通过将圆台和结构架分离设计,提高了工装的通用性;并且,所述工装各部分均采用常用型材,成本低廉,易于实现。
立式炉体装配工装多点固定装置.pdf
本发明公开了一种立式炉体装配工装多点固定装置,所述装配工装包括内载圈以及位于所述内载圈顶部的上载圈,所述固定装置包括:第一连接部,位于所述内载圈径向的内侧,与所述内载圈通过螺钉固定;第二连接部,由所述第一连接部的上端沿所述内载圈的径向向外延伸形成,位于所述上载圈的上侧,与所述上载圈固定。本发明使得装配工装的上载圈与内载圈连接稳定,不易发生错动。
立式炉体装配辅助装置.pdf
本发明公开了一种立式炉体装配辅助装置,涉及半导体工艺设备中炉体的立式装配技术领域,包括:支撑固定块(1)、间隙调节块(2),其中,所述支撑固定块(1)的上表面上设有滑槽(3);所述间隙调节块(2),设于所述滑槽(3)内,用于调节所述支撑固定块(1)的上表面与炉体底部的间隙。本发明能够在对立式炉体进行装配时,对炉体进行支撑、对炉体外壁进行定位,可使炉体在装配过程中的稳固程度得到加强,同时为炉体外壁的装配带来了便利,大大降低了炉体外壁的装配难度。
一种装配工装以及装配方法.pdf
本发明公开了一种装配工装以及装配方法,保证了装卸装置总装一次成功,提高了工效,实现了伸缩灵活且相互不干涉。该装配工装包括下侧梁装配组成、上框架装配组成和总装组成,其中:下侧梁装配组成包括用于沿下侧梁的长度方向间隔支撑下侧梁的第一支撑垫组件、用于夹紧下侧梁的两个相对的腹板的夹具组件以及用于从上至下加压的加压组件;上框架装配组成包括用于支撑上框架的第二支撑垫组件,所述第二支撑垫组件上设有用于对上框架的上侧梁和横向伸缩组件定位的第一定位组件;总装组成包括两个支承座和用于调整竖向伸缩组件的垂直度的垂直度调节组件,