一种异型腔室取样结构.pdf
哲妍****彩妍
在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便
相关资料
一种异型腔室取样结构.pdf
本申请提供一种异型腔室取样结构,所述异型腔室取样结构包括取样探头组1、支撑杆腔组2、法兰盘3,所述取样探头组1包括取样腔管4和多耳环腔室组5,所述支撑杆腔组2包括中空支撑杆9、采样信号稳平衡环腔室10和双梯型环腔室11,其中:所述取样管腔4为中空钢管,所述取样管腔4的一端用于取样,所述取样管腔4的另一端与所述多耳环腔室组5连接;所述多耳环腔室组5包括至少两个相互贯通的环腔室6,在与取样管腔4相通的环腔室6上设置有取样孔7,在与环腔室6相通的支撑杆腔组2上设置有采样孔8;中空支撑杆9上设置有至少两个采样信号
一种晶圆电镀腔室结构.pdf
本发明提供了一种晶圆电镀腔室结构,包括腔室主体,腔室主体居中开设阳极液池,阳极液池内安装阳极板,腔室主体侧壁连接阳极液入口,腔室主体内形成与阳极液入口连通的阳极液路;腔室主体位于阳极液池上方安装第二腔室,第二腔室包括连接座和支撑板,连接座的底面固定于腔室主体顶端,连接座的顶面开设阴极液腔体,阴极液腔体底壁居中开设离子交换口,支撑板设置于离子交换口处并伸入阳极液池内,支撑板覆有供阳极电解液中金属离子通过的离子膜;腔室主体侧壁连接阴极液入口,腔室主体内形成阴极液路。本发明用以解决化学镀工艺方法难以满足晶圆生产
一种色母粒加工用双腔室结构.pdf
本发明公开了一种色母粒加工用双腔室结构,包括清洗室和干燥室,清洗室的顶端固定安装有两个对称的水箱,水箱的底部设置有水泵,水箱之间设置有第一电机,第一电机的底端固定连接有第一传动轴,第一传动轴的两侧均设置有喷洒头,旋转盘的表面贯穿开有若干对称的清洗孔,网状底板的一端固定连接有连接块,旋转轴的底端固定套接有传动齿轮组,传动齿轮组的一端套接有第二传动轴,第二传动轴的一端连接有第二电机。本发明通过在清洗室内设置水箱和喷洒头,可在使用者将色母粒放入清洗孔内以后使用喷洒头进行清洗,在色母粒清洗完成后将色母粒通过输入干
一种双腔室石英管结构.pdf
本发明公开了一种双腔室石英管结构,包括石英工艺管、炉门石英腔室、环形法兰、工艺气体进气管、尾排管、炉门腔室进气管和内外双密封炉门,所述石英工艺管的左端设置有炉门石英腔室,所述石英工艺管的左端设置有环形法兰,所述石英工艺管的内部固定安装有工艺气体进气管,所述石英工艺管的右端固定安装有尾排管,所述炉门石英腔室的顶部固定安装有炉门腔室进气管,所述炉门石英腔室的左侧设置有内外双密封炉门。本发明通过对常用的工艺管的结构进行改进使得该石英管保证在工艺过程中的气体反应物不在管口处存留,炉口清洁,容易与内外双密封炉门的密
喷嘴腔室的结构.pdf
本发明披露了一种用于将流体施加到被设置成在腔室(10)中运行的材料块(M)(例如网状物或条带)上的腔室,具有用于将流体施加到材料上的流体施加器(2)。它还包括:入口(11a),材料通过所述入口(11a)被送入腔室(10);出口(11b),材料通过所述出口(11b)离开腔室(10);出口通道装置(15),被设置在出口(11b)处并且被设置成形成腔室的出口流体密封;以及,入口通道装置(16),被设置在入口(11a)处并且被设置成形成腔室的入口流体密封。