一种新型结构的硅片承载花篮.pdf
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一种新型结构的硅片承载花篮.pdf
本发明公开了一种新型结构的硅片承载花篮,包裹面板、框板、第一支撑杆、第二支撑杆、第三支撑杆和花篮齿。所述面板顶部一周外壁固定连接有框板,所述面板和框板之间设有放置舱,所述放置舱后侧底部通过面板外壁设有第一支撑杆,所述放置舱中端底部通过面板外壁设有第二支撑杆,所述放置舱前侧底部通过面板外壁设有第三支撑杆,所述第一支撑杆、第二支撑杆和第三支撑杆顶部外壁均固定连接有花篮齿,所述花篮齿呈均匀对称分布,涉及太阳能电池技术领域,该种新型结构的硅片承载花篮,减少了花篮齿头区域部分破损的几率,通过减少花篮齿带来的花篮印和
一种新型限位式硅片承载装置.pdf
本发明涉及光伏发电领域,具体公开了一种新型限位式硅片承载装置,包括承载框和载板;所述承载框由横梁和竖梁构成;所述载板中沿其长度方向或/和宽度方向中的其中一侧通过锁紧机构锁紧在所述横梁或/和所述纵梁上,与其相对的一侧则通过柔性安装机构安装在所述横梁或/和所述纵梁上;所述柔性安装机构包括第一连接件和弹性元件;所述第一连接件的一端连接在载板上,该第一连接件的另一端设置有弹性元件;所述第一连接件伸入到所述横梁或/和所述纵梁中的安装腔体中,所述弹性元件的弹力促使所述第一连接件朝远离所述锁紧机构的方向拉紧所述载板。本
硅片清洗花篮.pdf
本实用新型公开了硅片清洗花篮,其技术方案要点是:包括底板,所述底板和所述顶板之间固定连接有两个挡杆,两个所述挡杆和所述支杆的外侧均设置有弹性硅胶层,所述圆形凹槽中设置有内螺纹,所述支杆的底端外侧设置有外螺纹,所述支杆与所述圆形凹槽螺纹连接,通过第一支板上开的圆形凹槽,第二支板上开设的连接孔,依靠支杆的底部与圆形凹槽螺纹连接,可以使得支杆对放置的硅片进行阻挡,进而可以对硅片进行固定,避免硅片清洗时从卡板上滑动掉落,通过两个挡杆和支杆的外侧均设置的弹性硅胶层,依靠弹性硅胶层可以使得挡杆和支杆具有良好的弹性缓冲
一种用于硅片清洗的承载装置、设备及硅片.pdf
本发明实施例公开了一种用于硅片清洗的承载装置、设备及硅片;所述承载装置包括由多根支撑杆组成的用于承载硅片的承载架;每根支撑杆包括:用于插放硅片的多个插槽;在所述插槽的相对侧沿周向方向均匀分布的多个凹槽,所述凹槽内允许清洗液流动。
硅片承载装置.pdf
本发明属于半导体设备技术领域,公开了硅片承载装置。该硅片承载装置包括承载机构、旋转机构和电滑环,承载机构设有若干个用以吸附硅片的吸附件;承载机构设于旋转机构上,能在旋转机构带动下在平面内转动,旋转机构中设有控制件和若干根通气管路,若干根通气管路一端均连接控制件,另一端连通吸附件,通气管路与吸附件一一对应;电滑环设于旋转机构远离承载机构的一端内部,电滑环与控制件电连接;旋转接头的旋转端设置在电滑环内,且通过供气管连接控制件,以能选择性地使若干个吸附件吸附不同尺寸的硅片。本发明能承载不同尺寸的硅片并能进行旋转