一种测量扫描电镜样品台上多个样品水平高度的装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114624269A(43)申请公布日2022.06.14(21)申请号202210290244.2(22)申请日2022.03.23(71)申请人开封时代新能源科技有限公司地址475000河南省开封市顺河回族区东郊乡汴东产业集聚区化验中心106(72)发明人朱欣欣程雅琳李紫燕党娟许明哲徐艳丽梁栋杜国强(74)专利代理机构河南大象律师事务所41129专利代理师尹周(51)Int.Cl.G01N23/2204(2018.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称一种测量扫描电镜样品台上多个样品水平高度的装置(57)摘要本发明涉及扫描电镜测试技术领域，具体的说是一种测量扫描电镜样品台上多个样品水平高度的装置，包括测量装置底座、两个支撑杆和可拆卸的上部测量盘，所述测量装置底座为圆形结构，两个支撑杆均呈竖直设置。本发明的有益效果是：本发明结构简单，配件所需原料廉价易得，组装方便，测量装置的稳定好，实用性强。本发明测量装置具备以下功能：可以将多个不同高度样品的最高点调至同一水平面上；测量出固定试样扫描电镜测试样品台的真实高度。可以解决置于样品台上不同高度样品不能同时用较小工作距离测试的问题。通过此测试装置测量出试样与样品台系统的真实高度，则可以设置样品台能上升至最小工作距离且不会碰撞到镜筒极靴的安全距离。CN114624269ACN114624269A权利要求书1/1页1.一种测量扫描电镜样品台上多个样品水平高度的装置，包括测量装置底座(1)、两个支撑杆(2)和可拆卸的上部测量盘(3)，其特征在于：所述测量装置底座(1)为圆形结构，两个支撑杆(2)均呈竖直设置，且两个支撑杆(2)分别设置在测量底座两侧边缘处，两个支撑杆(2)之间设置有上部测量盘(3)；其中，所述上部测量盘(3)中部为圆形结构，且上部测量盘(3)两侧均设置有滑块(6)；两个支撑杆(2)中部均设置有与滑块(6)相适配的凹槽(5)。2.根据权利要求1所述的一种测量扫描电镜样品台上多个样品水平高度的装置，其特征在于：所述测量装置底座(1)的直径为70mm，且测量装置底座(1)的高度为10mm。3.根据权利要求2所述的一种测量扫描电镜样品台上多个样品水平高度的装置，其特征在于：所述测量装置底座(1)上下端面均为水平设置，且测量装置底座(1)上端设置有与样品台底座(4)相适配的卡槽。4.根据权利要求1所述的一种测量扫描电镜样品台上多个样品水平高度的装置，其特征在于：两个滑块(6)均呈倒“L”形结构，且两个滑块(6)分别套接在两个支撑杆(2)的凹槽(5)中。5.根据权利要求1所述的一种测量扫描电镜样品台上多个样品水平高度的装置，其特征在于：所述支撑杆(2)的高度为75mm，底部宽度为8mm，底部长度为8mm，且支撑杆(2)侧壁设置有刻度。6.根据权利要求4所述的一种测量扫描电镜样品台上多个样品水平高度的装置，其特征在于：所述凹槽(5)的高度为75mm，宽度为5mm，长度为5mm。7.根据权利要求3所述的一种测量扫描电镜样品台上多个样品水平高度的装置，其特征在于：所述上部测量盘(3)的直径为50mm，厚度为2mm。8.根据权利要求3所述的一种测量扫描电镜样品台上多个样品水平高度的装置，其特征在于：该装置的使用方法具体包括以下步骤：步骤一：首先将样品A、样品B、样品C分别用碳导电胶带固定在三个钉形样品台上，接着将这些固定样品的钉形样品台台放置在钉形样品台底座(4)上，并将样品A固定在钉形样品台底座(4)的正中心上；步骤二：一边轻轻向下拨动上部测量盘(3)，边观察上部测量圆盘(3)下降的位置，使上部测量圆盘(3)下降至中心样品A的正上方，保证接触样品且没有挤压到样品；步骤三：接着一边用镊子抬高样品B的钉形样品台，使其接触到上部测量盘(3)，再用螺丝刀将钉形样品台固定在钉形样品台底座上，样品C用相同操作固定好，此时，三个样品的最高部位就在同一水平面上，并记录此时上部测量盘(3)的位置，这个高度即为固定试样后样品台整个系统的真实高度，测试完毕后，即可将样品台放入扫描电镜仓室中进行后续测试。2CN114624269A说明书1/4页一种测量扫描电镜样品台上多个样品水平高度的装置技术领域[0001]本发明涉及扫描电镜测试技术领域，具体说是一种测量扫描电镜样品台上多个样品水平高度的装置。背景技术[0002]扫描电子显微镜作为一种对材料的微观形貌进行分析测试工具，具有较高的分辨率，在观测微纳米材料上的应用日益广泛。随着新型材料的研发，对材料微观纳米尺度的研究逐渐增多，因此需要扫描电镜拍摄出更高分辨率、更清晰的微观形貌图像。[0003]扫描电镜的工作距离(Workingdistance)是指电子束汇聚点到扫描电镜镜筒极靴的距离。扫