一种籽晶清洗设备.pdf
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相关资料
一种籽晶清洗设备.pdf
本发明涉及籽晶生产设备领域,具体的说是一种籽晶清洗设备,包括籽晶本体、清洗筒和设置在清洗筒侧壁的超声波换能器,所述清洗筒的顶部套设有筒盖,且筒盖的下侧壁固定连接有支撑杆,所述支撑杆的下端固定连接有放置盘,且放置盘上设置有多个阵列设置的放置筒,各个所述放置筒的顶部套设有密封盖。该种籽晶清洗设备,能够对各个籽晶本体进行分开固定夹紧并进行清洗,清洗更加彻底、效果更好,避免其清洗过程中发生碰撞,保证其生产质量,同时,能够适用不同规格尺寸的籽晶本体,使用更加方便、适用性更强,并且,能够对清洗液的流速进行限制,避免其
一种用于清洗籽晶的设备.pdf
本实用新型涉及一种用于清洗籽晶的设备,包括工作台,以及设置在工作台上并用于清洗籽晶的清洗区,其特征在于:还包括上料区、下料区、取放机构和传送机构,其中,取放机构用于从上料区拿取待清洗的籽晶,而传送机构用于传送取放机构,在取放机构被传送至清洗区的状态下,取放机构将待清洗的籽晶放入清洗区以完成清洗作业,在取放机构从清洗区拿取已清洗的籽晶,并被传送至下料区的状态下,取放机构能将已清洗的籽晶放入下料区;与现有技术相比,本实用新型的优点在于:通过设置专门的上料区和下料区,并设置取放机构和传送机构来拿取或者放置籽晶,
一种摇摆式籽晶表面腐蚀、清洗、烘干装置及工艺方法.pdf
一种摇摆式籽晶表面腐蚀、清洗、烘干装置及工艺方法,属于半导体晶体生长技术领域,包括腐蚀槽和配套的腐蚀槽盖、设置在腐蚀槽底部中间位置的籽晶支撑平台以及配套设置在腐蚀槽两侧的高纯热氮气通入短直管、腐蚀液通入短直管、去离子水通入短直管、溢流排液短直管,所述高纯热氮气通入短直管、腐蚀液通入短直管和去离子水通入短直管的自由端均设有开关截止阀,所述装置还包括设置在腐蚀槽底部的摇摆机构;所述籽晶支撑平台包括对称分布在腐蚀槽竖直向中轴线两侧且定位在腐蚀槽底部的支撑架、借助转轴安装在支撑架上端的籽晶支撑轮以及配套的籽晶支撑
一种成品大面积籽晶和矩形大面积籽晶的制备方法及设备.pdf
本发明公开了一种单晶铸锭用大面积籽晶的制备方法和设备,具体步骤包括:1)取常规{100}单晶棒截去头尾,沿中轴纵向(010)或(110)面剖开得到扁平长条状的单晶籽晶条;2)将所述单晶籽晶条和硅料一起放置在矩形平底坩埚内,并放入水平生长炉中进行水平定向生长后,得到成品大面积单晶;3)将上述得到的成品大面积单晶进行切割和打磨,得到用于铸锭炉进行单晶铸锭的矩形大面积籽晶,所述矩形大面积籽晶边长为300~2000mm之间。本发明解决了铸造单晶所必需的大面积籽晶的难题,为铸造单晶硅锭提供了技术基础,从而跨越了”准
籽晶粘接设备.pdf
本实用新型公开了一种籽晶粘接设备,包括籽晶托和压紧装置,所述籽晶通过碳纸粘贴在所述籽晶托内侧底部;所述压紧装置限定出一个容纳腔,所述容纳腔内设置蜂窝散热结构,所述籽晶的上表面与所述蜂窝散热结构的下表面贴合,所述压紧装置将所述籽晶压紧在所述籽晶托内侧底部,所述压紧装置的外径d1与所述籽晶托内径d2的关系为:0<d2?d1≤0.5mm。本实用新型能够避免烧结过程中因温度过高或过低,而导致籽晶出现黑胶区(过烧)或黄胶区(虚烧),影响粘接后籽晶的质量,同时避免烧结过程中,破损的石墨纸或有机胶因中温烧结挥发的大颗粒