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籽晶粘接设备.pdf
2023-04-18
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籽晶粘接胶及籽晶粘接方法.pdf
本申请涉及一种籽晶粘接胶及籽晶粘接方法，籽晶粘接胶包括碳纳米管材料和粘接剂，碳纳米管材料的长径比≥1000，碳纳米管材料的质量与粘接剂的体积比为(0.1～0.3)g:1mL。通过以碳纳米管材料作为骨架，一方面可有效增强籽晶粘接胶经碳化后形成的碳化层的整体强度及韧性，从而有效降低碳化层的脆性，以及有效避免碳化层的脱落和开裂风险，故而有效避免因裂纹导致烧灼诱导产生的微管、六方孔洞及位错等晶体缺陷；另一方面，碳纳米管材料具有中空管道结构，且通过控制碳纳米管材料的长径比，可增强对外排气能力，抑制微气泡的产生，从而
2023-06-07
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籽晶粘接设备.pdf
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2023-04-18
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一种籽晶和籽晶托的粘接装置以及粘接方法.pdf
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2013106109836碳化硅籽晶粘接装置.pdf
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2024-08-17
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一种减少碳化硅籽晶背向升华的粘接结构与粘接方法.pdf
本发明公开了一种减少碳化硅籽晶背向升华的粘接结构与粘接方法，包括籽晶托、籽晶与缓冲层，所述籽晶边缘设有环形保护层，所述环形保护层的宽度小于所述缓冲层与所述籽晶托的半径差。采用本发明的籽晶粘接结构，籽晶与坩埚内壁之间不留空隙但却不是直接接触的，籽晶边缘温度不会过高，分解升华的概率大大降低，可以有效抑制碳化硅籽晶的背向分解。本发明在不改变籽晶粘接工艺的情况下，仅改变粘接材料的结构布局，就能有效减少SiC籽晶边缘烧蚀和晶体中空洞缺陷的出现，简单易行，设用于各种籽晶粘接工艺。
2023-11-06
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