一种基板取放机构.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115180384A(43)申请公布日2022.10.14(21)申请号202210843065.7(22)申请日2022.07.18(71)申请人苏州晶洲装备科技有限公司地址215555江苏省苏州市常熟市辛庄镇新阳大道136号(72)发明人张帆施利君蒋新(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司11332专利代理师李林(51)Int.Cl.B65G47/74(2006.01)B65G47/90(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图4页(54)发明名称一种基板取放机构(57)摘要本发明涉及搬运设备技术领域，公开了一种基板取放机构。该基板取放机构包括Pin机构和驱动Pin机构平移和升降运动的驱动结构，Pin机构包括并排设置的多组顶升组件，顶升组件能够从传输设备的间隔内穿过，并沿竖直方向升降；顶升组件包括第二支撑组件以及端部垂直固定于第二支撑杆的若干第一支撑组件，第二支撑杆位于传输设备的侧边，第一支撑组件沿水平方向延伸；多组顶升组件的第一支撑组件形成若干层顶升结构，基板能够从相邻两层顶升结构的间隙内，以及第一支撑组件和传输设备顶部之间的间隙内通过。本发明所提供的基板取放机构，可分批次对多片基板进行取片或放片，解决机械手完成单次动作时长较长的问题，从而提高基板的输送效率。CN115180384ACN115180384A权利要求书1/1页1.一种基板取放机构，其特征在于，包括：Pin机构，所述Pin机构包括并排设置的多组顶升组件，所述顶升组件能够从传输设备(200)的间隔内穿过，并沿竖直方向升降；所述顶升组件包括第二支撑杆(130)以及端部垂直固定于所述第二支撑杆(130)的若干第一支撑组件，所述第二支撑杆(130)位于所述传输设备(200)的侧边，所述第一支撑组件沿水平方向延伸；多组所述顶升组件的第一支撑组件形成若干层顶升结构，所述基板(300)能够从所述顶升结构和所述传输设备(200)顶部之间的间隙内穿过；所述基板(300)能够从相邻两层所述顶升结构的间隙内穿过；驱动结构，所述驱动结构能够驱动所述Pin机构平移和升降。2.根据权利要求1所述的基板取放机构，其特征在于，所述Pin机构的数量为两个，两个所述Pin机构对称设置于所述传输设备(200)的两侧。3.根据权利要求1所述的基板取放机构，其特征在于，所述驱动结构包括升降装置，所述Pin机构由所述升降装置带动升降；所述驱动结构包括直线位移装置(150)，所述Pin机构由所述直线位移装置(150)带动水平位移。4.根据权利要求3所述的基板取放机构，其特征在于，所述升降装置包括但不限于滑轨、气缸、滑台或电动推杆中的一种；所述直线位移装置(150)包括但不限于滑轨、气缸、滑台或电动推杆中的一种。5.根据权利要求3所述的基板取放机构，其特征在于，所述升降装置为同步升降机。6.根据权利要求3所述的基板取放机构，其特征在于，所述直线位移装置(150)的数量为多个；多个所述直线位移装置(150)同步升降。7.根据权利要求1所述的基板取放机构，其特征在于，所述Pin机构还包括连杆(140)，所述顶升组件均固定于所述连杆(140)上。8.根据权利要求1所述的基板取放机构，其特征在于，所述第一支撑组件包括第一支撑杆(120)以及固定于所述第一支撑杆(120)上的多个顶杆(110)。9.根据权利要求8所述的基板取放机构，其特征在于，所述顶杆(110)的顶部设置有柔性的胶垫。10.根据权利要求1所述的基板取放机构，其特征在于，还包括用于取放所述基板(300)的多臂机械手(400)。2CN115180384A说明书1/5页一种基板取放机构技术领域[0001]本发明涉及搬运设备技术领域，特别是涉及一种基板取放机构。背景技术[0002]在平板显示屏、半导体、玻璃等基板的制造工艺中，有很多制程设备会使用到滚轮传输设备，基板由机械手放入入料单元中，经滚轮传输设备传送，经过一系列工艺单元处理，再通过机械手在出料单元取出，从而完成了一片基板的在该段的工艺制程。[0003]现有技术中，基板的取放片机构即出入料设计多涉及两种情况：一是基板正面取放片，这种情况出入料单元多使用大滚轮传送，机械手在滚轮片间插入取放片；二是基板侧面取放片，此种情况出入料单元采用小滚轮传送，同时在滚轮间配置Pin机构，通过控制Pin的升降来配合机械手取放片。[0004]现有的机械手取放片机构，无论是正面取放片还是侧面取放片，都只是实现单片的取放步骤，而受机械手的完成动作的时长限制，提高基板输送效率的空间有限。发明内容[0005]本发明的目的在于提供一种基板取放机构，该基板取放机构能够实现基板的分批取放，以解决机械手完成单次动作时长较长的问题，可显著提高基板输送的效率。[000