一种超薄玻璃单面减薄方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113336447A(43)申请公布日2021.09.03(21)申请号202110707668.X(22)申请日2021.06.24(71)申请人重庆永信科技有限公司地址402160重庆市永川区星光大道999号1幢（重庆永川工业园区凤凰湖工业园内）(72)发明人李章辉徐政权高坤旭潘明明李文铭(74)专利代理机构芜湖安汇知识产权代理有限公司34107代理人孟迪(51)Int.Cl.C03C15/00(2006.01)B24B7/24(2006.01)B24B41/06(2012.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称一种超薄玻璃单面减薄方法(57)摘要一种超薄玻璃单面减薄方法，属于玻璃基板减薄工艺技术领域，该超薄玻璃单面减薄方法，包括以下步骤：在玻璃基板的非减薄面贴覆贴附膜；对玻璃基板的减薄面进行抛光处理；对抛光后的玻璃基板进行清洗、干燥、去除贴附膜；在玻璃基板的非减薄面贴覆贴附膜后贴背板；将固定有背板的玻璃基板移入蚀刻槽，先进行蚀刻预处理后再进行单面薄化处理；将玻璃基板与背板分离后，对减薄后的玻璃基板进行清洗、干燥、去除贴附膜并检验，本发明的有益效果是，本发明通过在单面蚀刻前增加抛光和预处理工艺，并对抛光后的玻璃基板提供了足够的支撑力，既减小了玻璃来料的板厚差，提高了玻璃板厚的均匀性，又可提升产品的表现良率，降低了破片的风险。CN113336447ACN113336447A权利要求书1/1页1.一种超薄玻璃单面减薄方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：在玻璃基板的非减薄面贴覆贴附膜；步骤2：对玻璃基板的减薄面进行抛光处理；步骤3：对抛光后的玻璃基板进行清洗、干燥、去除贴附膜；步骤4：在玻璃基板的非减薄面贴覆贴附膜后贴背板；步骤5：将固定有背板的玻璃基板移入蚀刻槽，先进行蚀刻预处理以减弱或抑制玻璃基板表面缺陷后再进行单面薄化处理；步骤6：将玻璃基板与背板分离后，对减薄后的玻璃基板进行清洗、干燥、去除贴附膜并检验。2.根据权利要求1所述的超薄玻璃单面减薄方法，其特征在于：所述贴附膜包括光解离膜和隔离层，所述隔离层覆盖在玻璃基板的有效电路区，所述光解离膜贴附在所述隔离层上且将玻璃基板的非减薄面覆盖。3.根据权利要求2所述的超薄玻璃单面减薄方法，其特征在于：所述光解离膜设置为UV解离膜，包括膜层和胶层，所述胶层设置为UV胶层。4.根据权利要求3所述的超薄玻璃单面减薄方法，其特征在于：去除贴附膜的方法是，使用紫外光线照射UV解离膜，使UV解离膜与玻璃基板分离，然后去掉隔离层。5.根据权利要求1所述的超薄玻璃单面减薄方法，其特征在于：所述步骤2中使用的抛光垫为抛光阻尼布，抛光去除的厚度为5～10μm。6.根据权利要求1所述的超薄玻璃单面减薄方法，其特征在于：对玻璃基板进行清洗所运用的清洗剂包括氢氧化钠和水，其质量百分比为氢氧化钠：水＝1:100，PH为9～11，温度为38～42℃，冲洗3～5min。7.根据权利要求1所述的超薄玻璃单面减薄方法，其特征在于：所述背板上均匀设置有粘贴框，所述粘贴框远离所述玻璃基板的一侧粘贴有透明胶带，并通过透明胶带与玻璃基板一侧的贴附膜粘贴固定。8.根据权利要求1所述的超薄玻璃单面减薄方法，其特征在于：在所述步骤5中，蚀刻预处理所使用的预处理液浸泡的时间为40‑50min，蚀刻去除的厚度为30～50μm；所述预处理液包括氢氟酸、盐酸、硝酸和硫酸，分别占预处理液的总质量的2.3‑2.7％、2.0‑3.0％、7.0‑7.6％、45.0‑50.0％，其余成分为水；或所述预处理液包括氢氟酸、硫酸，分别占预处理液的总质量的2.3‑2.7％、45.0‑50.0％，其余成分为水；或所述预处理液包括氢氟酸、盐酸、硫酸，分别占预处理液的总质量的2.3‑2.7％、2.0‑3.0％、45.0‑50.0％，其余成分为水。9.根据权利要求1所述的超薄玻璃单面减薄方法，其特征在于：所述步骤5中，单面薄化处理的方法是将蚀刻预处理后的玻璃基板浸泡在30％～40％的氢氟酸顶喷式蚀刻槽内进行单面减薄，直至蚀刻到目标厚度。2CN113336447A说明书1/5页一种超薄玻璃单面减薄方法技术领域[0001]本发明涉及玻璃减薄工艺技术领域，尤其涉及一种超薄玻璃单面减薄方法。背景技术[0002]近年来，随着我国现代科技的发展，玻璃的生产工艺以及设备水平得到进一步的提高。超薄玻璃作为一种便捷，高效，先进的玻璃产品，也因其良好的经济效益，优越的性能，在未来的新能源，节能环保领域，电子信息产业，建筑产业，汽车产业等领域具有有较大的发展空间。[0003]应用于OLED(OrganicLight‑EmittingDiode，有机发光二极管)显示器的TSP(Touch