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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111571432A(43)申请公布日2020.08.25(21)申请号202010367816.3(22)申请日2020.04.30(71)申请人刘建军地址471000河南省洛阳市高新技术开发区九都西路美伦香颂26-1-703(72)发明人刘建军(51)Int.Cl.B24B41/06(2012.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种用于磨削易碎薄壁管件外圆的管件固定装置(57)摘要一种用于磨削易碎薄壁管件外圆的管件固定装置,涉及新材料技术领域,本发明通过在支撑轴(4)的外缘面上设置气囊(9),压缩空气从旋转接头进气口充入,进到支撑轴的进气孔(5)内,压缩空气在进气孔内经气囊进气孔(10)分流后分别进入气囊,在压力作用下,气囊涨大,支撑住待磨管件(8),实现支撑轴与管件的软连接,为管件加工提供辅助支撑,抵消加工中产生的切削抗力等,本发明具有结构简单,生产效率高、成本低、结构设计合理等优点,特别适合大范围的推广和应用。CN111571432ACN111571432A权利要求书1/1页1.一种用于磨削易碎薄壁管件外圆的管件固定装置,包括支撑轴(4)和气囊(9),其特征是:在所述支撑轴(4)上端头的中部设有进气孔(5),所述进气孔(5)的进气端口连接气源,在支撑轴(4)的外缘面上间隔设有复数个气囊(9),每个气囊(9)内分别设有一组自支撑轴(4)外缘面贯通至进气孔(5)的气囊进气孔(10),在支撑轴(4)上部的外缘面上设有挡环(6),在支撑轴(4)下部的外缘面上设有外螺纹,所述外螺纹丝接固定螺母(13),在固定螺母(13)与挡环(6)之间气囊(9)的外缘面上套接有待磨削的管件(8)形成所述的用于磨削易碎薄壁管件外圆的管件固定装置。2.如权利要求1所述的用于磨削易碎薄壁管件外圆的管件固定装置,其特征是:所述支撑轴(4)上端的进气孔(5)通过连接管(2)连接旋转接头(1),所述旋转接头(1)连接气源。3.如权利要求2所述的用于磨削易碎薄壁管件外圆的管件固定装置,其特征是:所述旋转接头1与气源之间设有减压阀和截止阀。4.如权利要求1所述的用于磨削易碎薄壁管件外圆的管件固定装置,其特征是:所述每组气囊进气孔(10)中气囊进气孔(10)的数量为至少一个。5.如权利要求1所述的用于磨削易碎薄壁管件外圆的管件固定装置,其特征是:所述管件(8)的上端头与挡环(6)之间设有上垫块(7)。6.如权利要求1所述的用于磨削易碎薄壁管件外圆的管件固定装置,其特征是:所述管件(8)的下端头与固定螺母(13)之间设有下垫块(12)。7.如权利要求1所述的用于磨削易碎薄壁管件外圆的管件固定装置,其特征是:所述每两个气囊(9)之间分别设有气囊隔环(11)。8.如权利要求1所述的用于磨削易碎薄壁管件外圆的管件固定装置,其特征是:所述支撑轴(4)的上端头连接卡盘(3)。9.如权利要求1所述的用于磨削易碎薄壁管件外圆的管件固定装置,其特征是:所述支撑轴(4)的下端头连接顶尖(14)。10.如权利要求1所述的用于磨削易碎薄壁管件外圆的管件固定装置,其特征是:所述支撑轴(4)外缘面的两端头分别设有吊装孔。2CN111571432A说明书1/3页一种用于磨削易碎薄壁管件外圆的管件固定装置[0001]【技术领域】本发明涉及新材料技术领域,具体涉及一种用于磨削易碎薄壁管件外圆的管件固定装置。[0002]【背景技术】已知的,新材料产业具有技术高度密集,研究与开发投入高,产品的附加值高,生产与市场的国际性强,以及应用范围广,发展前景好等特点,其研发水平及产业化规模已成为衡量一个国家经济,社会发展,科技进步和国防实力的重要标志,世界各国特别是发达国家都十分重视新材料产业的发展。以靶材为例,基于物理气相沉积原理的溅射镀膜工艺,已广泛应用于液晶显示设备、太阳能电池、太阳能真空管、半导体芯片等技术领域;而旋转型靶材是溅射镀膜工艺中常用的一种镀膜耗材,旋转型靶材一般由管状金属基材和镀膜材料层构成,正常做法是在管状金属基材外表面进行表面清洗或者吹砂完后就直接喷涂镀膜材料层,这种产品存在的问题是镀膜材料层与管状金属基材外表面结合强度较差,会影响旋转型靶材在溅射镀膜工艺中的正常使用寿命;同时由于喷涂工艺的具体要求,其所使用的硅粉的纯度不够,进而导致靶材的整体纯度较低进而影响镀膜质量。[0003]另一种工艺是在一个完整的锭型或棒形材料上用掏料装置掏出一个空心管料,通过磨抛加工后将管料绑定在管状金属基材上,该工艺具有生产效率低,生产成本高及由于掏料工艺限制管料长度较短等缺点,成本限制无法得到大范围的推广和应用,因此,拉制管状晶体的装置就成了本领域技术人员的研究方向,当管状晶体拉制出来后,需要对管状晶体的内圆