压差传感器及其制造方法.pdf
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压差传感器及其制造方法.pdf
本发明涉及压差传感器(1),包括测量膜(10),该测量膜(10)布置在两个平台(20)之间,并且经相应的第一绝缘层(26)与平台(20)中的每个压力紧密地连接,以便在平台与测量膜之间形成压力室。绝缘层尤其包括氧化硅。压差传感器进一步包括用于记录测量膜的压力依赖偏转的电换能器。平台(20)具有支撑位置(27),在过载的情况下,测量膜(10)至少部分地接触支撑位置(27)。支撑位置(10)具有位置依赖高度h。压差传感器的特征在于,支撑位置(27)通过各向同性蚀刻形成在第一绝缘层(26)中,并且每个支撑位置的相
电容式压差传感器及其制造方法.pdf
电容式压差传感器及其制造方法,该传感器由上、中、下三层结构构成,其制备方法包括:对上中下三层晶圆分别进行加工,之后对三层晶圆进行键合,通过磁控溅射形成引线焊盘,最后切割,实现压差传感器的制备。该传感器通过控制掺杂的面积来减小固定电容,提升灵敏度;该传感器通过干法刻蚀SOI晶圆的衬底层,实现了岛膜比可控的膜片,提升传感器灵敏度;传感器通过连接金属,实现了由SOI晶圆所制造的中间层结构的器件层特定部分与衬底层的导电,进而使中间层结构上下表面都带电,与上下电极形成上下电容;该传感器可以通过对一个表面的金属溅射,
高灵敏度谐振式差压传感器及其制备方法.pdf
本发明提供一种高灵敏度谐振式差压传感器及其制备方法,包括:传感器本体,包括依次叠设的器件层、绝缘层和基底层,其中,在基底层的中央位置设有第一压力敏感膜,第一压力敏感膜两侧分别设置有引线孔;在器件层上与第一压力敏感膜对应的位置处分别设置有第一谐振器和第二谐振器,第一谐振器和第二谐振器的四周分别设置有接线端子;绝缘层用于隔开基底层和器件层;除了将基底层中位于第一谐振器和第二谐振器下方的实现真空必需的部分保留之外,第一压力敏感膜仅在第一谐振器和第二谐振器下方位置保留一层较薄的小密封盖,以密封第一谐振器和第二谐振
压配合端子及其制造方法.pdf
本发明提供一种压配合端子及其制造方法,能够以更稳定的状态保留压接部表面的镀层。在第一弹性压接片(24a)的长度方向中央部分设置有第一按压部(32)和第一凸部(34),该第一按压部设置于从狭缝(22)分隔开的侧缘部侧,该第一凸部在狭缝与第一按压部之间比第一按压部向板厚方向的一侧突出,由第一凸部构成第一弹性压接片的压接部(16),在第二弹性压接片(24b)的长度方向中央部分设置有第二按压部(36)和第二凸部(38),该第二按压部设置于从狭缝分隔开的侧缘部侧,该第二凸部在狭缝与第二按压部之间比第二按压部向板厚方
传感器系统及其制造方法.pdf
公开了一种传感器系统(110)、一种制造用于传感器系统(110)中的柔性电子贴片(114)的方法以及一种制造传感器系统(110)的方法。传感器系统(110)包括:‑至少一个分析物传感器(112),其被配置用于至少部分地实现到用户的身体组织中;‑至少一个柔性电子贴片(114),该柔性电子贴片(114)包括‑用于将柔性电子贴片(114)施加到用户的皮肤(132)的至少一个施加器单元(134);以及‑至少一个第二粘合层(136),用于在将柔性电子贴片(114)施加到用户的皮肤(132)之前,将柔性电子贴片(11