X射线衍射在材料科学中的应用.pdf

第卷期半导体杂志射线衍射在材料科学中的应用张世敏郝建民李贵全～、引言随着材料科学的发展．各种近代物理实验方法日新月异传统的射线分析技术也有了较大的发展。在光源上出现了功率高达千瓦的转靶光管以及更强、准直性、单色性更好的同步辐射光源。在测试方面．已生产出专门测薄膜材料相结构的薄膜衍射仪测量高分子结构的小角散射澳』量非晶态的扩展射线吸收精细结构技术全电子控制狭缝测角仪澳量单晶与薄膜表面形貌及晶格失配的双晶衍射系统以及监控单晶生长的射线形貌电视。由于计算机的普及使用射线分析在自动检索、图形的数学拟台等方面也有了较大进展。因此它仍然是研究晶体与非晶体结构的有效方法。射线是一种波长为．一一的电磁波．与晶体点阵常数的数量级相当。因此它通过晶体时会发生衍射现象。由于每种晶体都有特定的衍射花样因此射线衍射可以对试样中的不同相结构进行鉴别并可通过内标、外标等方法进行相成分的定量分析。另外通过对衍射峰形的分析能得到晶粒尺寸、晶格畸变、微观应力、结晶度、织构等多种信息．二、基本原理和仪器简介．基本原理晶体中的衍射现象如图所示当射线入射到晶体中时如果满足布拉格定律则射线强度因衍射而得到加强．当入射波长一定时．通过测定衍射角即可硫定晶面间距值。