用于分隔衬底的设备和方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108987307A(43)申请公布日2018.12.11(21)申请号201810543012.7(22)申请日2018.05.30(30)优先权数据17173332.22017.05.30EP(71)申请人英飞凌科技股份有限公司地址德国诺伊比贝尔格(72)发明人A·米克S·格克(74)专利代理机构北京市金杜律师事务所11256代理人郑立柱张鹏(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L21/78(2006.01)权利要求书3页说明书11页附图10页(54)发明名称用于分隔衬底的设备和方法(57)摘要用于分隔衬底的设备，具有：支托面，容纳具有第一表面和与其相对的第二表面的衬底板卡，使得衬底板卡以第二表面至少部分搁置在支托面上；第一保持装置，将布置在支托面上的衬底板卡在第一折断过程期间保持在支托面，在第一折断过程期间将第一保持力施加到衬底板卡的第一保持区域；第一折断装置，在第一折断过程期间将第一折断力施加到衬底板卡的第一折断区域，以便部分分隔衬底板卡；第二保持装置，将在第一折断过程后被部分分隔的衬底板卡在第二折断过程期间保持在支托面上，在第二折断过程期间将第二保持力施加到衬底板卡的第二保持区域；第二折断装置，在第二折断过程期间将第二折断力施加到衬底板卡的第二折断区域，以便进一步分隔衬底板卡。CN108987307ACN108987307A权利要求书1/3页1.一种用于分隔衬底的设备，所述设备具有：支托面(300)，所述支托面被构造成容纳具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面的衬底板卡(100)，使得所述衬底板卡(100)以所述衬底板卡的第二表面至少部分地搁置在所述支托面(300)上；第一保持装置(3111)，所述第一保持装置被构造成在第一折断过程期间将布置在所述支托面(300)上的衬底板卡(100)保持在所述支托面(300)上，其中，所述第一保持装置(3111)进一步被构造成在所述第一折断过程期间将第一保持力(F11)施加到所述衬底板卡(100)的第一保持区域(H1)上；第一折断装置(321)，所述第一折断装置被构造成在所述第一折断过程期间将第一折断力(F21)施加到所述衬底板卡(100)的第一折断区域(B1)上，以便部分地分隔所述衬底板卡(100)；第二保持装置(3121)，所述第二保持装置被构造成在第二折断过程期间将在所述第一折断过程之后被部分分隔的所述衬底板卡(100)保持在所述支托面(300)上，其中，所述第二保持装置(3121)进一步被构造成在所述第二折断过程期间将第二保持力施加到所述衬底板卡(100)的第二保持区域(H2)上；第二折断装置(322)，所述第二折断装置被构造成在所述第二折断过程期间将第二折断力施加到所述衬底板卡(100)的第二折断区域(B2)上，以便进一步分隔所述衬底板卡。2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述衬底板卡(100)具有至少三个衬底(101、102、103、104、105、106)；所述衬底板卡(100)具有至少两个折断边缘(131、132)，其中所述至少两个折断边缘(131、132)中的每一个折断边缘表示在各两个衬底(101、102、103、104、105、106)之间的边界；所述第一保持区域(H1)在至少一个第一折断边缘(131)的第一侧上延伸；所述第一折断区域(B1)在所述至少一个第一折断边缘(131)的相应另一个第二侧上延伸；所述第二保持区域(H2)在至少一个第二折断边缘(132)的第一侧上延伸；并且所述第二折断区域(B2)在所述至少一个第二折断边缘(132)的相应另一个第二侧上延伸。3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述第一折断边缘(131)中的至少一个第一折断边缘与所述第二折断边缘(132)成角度地布置；所述第一保持区域(H1)和所述第一折断区域(B1)彼此平行地延伸；并且所述第二保持区域(H2)和所述第二折断区域(B2)彼此平行并且垂直于所述第一保持区域(H1)和所述第一折断区域(B1)地延伸。4.根据权利要求2和3中任一项所述的设备，其中，所述第一保持区域(H1)与所述至少一个第一折断边缘(131)具有第一距离；所述第一折断区域(B1)与所述至少一个第一折断边缘(131)具有第二距离；所述第二保持区域(H2)与所述至少一个第二折断边缘(132)具有第三距离；并且所述第二折断区域(B2)与所述至少一个第二折断边缘(132)具有第四距离。2CN108987307A权利要求书2/3页5.根据权利要求4所述的设备，其中，所述第一距离计为0mm，在0mm至1mm之间，在0mm至2.5mm之间或在0mm至5mm之间；所述第二距离计为大于0mm、大于1mm、大于2.5mm或大于5m