超支化聚合物及其制造方法、以及组合物.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106795279A(43)申请公布日2017.05.31(21)申请号201580047099.3(72)发明人工藤宏人高瀬一郎(22)申请日2015.07.31(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所(30)优先权数据111052014-1785322014.09.02JP代理人张涛2015-1245352015.06.22JP(51)Int.Cl.(85)PCT国际申请进入国家阶段日C08G65/34(2006.01)2017.03.02(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2015/0718332015.07.31(87)PCT国际申请的公布数据WO2016/035491JA2016.03.10(71)申请人学校法人关西大学地址日本大阪府申请人株式会社大赛璐权利要求书5页说明书31页附图8页(54)发明名称超支化聚合物及其制造方法、以及组合物(57)摘要本发明提供一种可以由酸容易地分解主链的超支化聚合物。该超支化聚合物是使分子内具有3个以上的羟基的单体(X)与分子内具有2个以上的下述通式(y)所示的基团的单体(Y)反应而得到的，其中，作为单体(X)，含有选自由环糊精、下述通式(I)所示的化合物、柱芳烃、下述通式(II)所示的化合物、下述通式(III)所示的化合物、及下述通式(IV)所示的化合物构成的组中的至少一种化合物，作为单体(Y)，含有下述通式(1)所示的化合物。CN106795279ACN106795279A权利要求书1/5页1.一种超支化聚合物，其是使分子内具有3个以上羟基的单体(X)与分子内具有2个以上下述通式(y)所示基团的单体(Y)进行反应而得到的，式(y)中，Ry1表示氢原子或碳原子数为1～16的烷基；Ry2及Ry3相同或不同，表示氢原子、烷基或环烷基；并且，Ry1、Ry2及Ry3中的至少2个任选相互键合并与相邻的1个或2个碳原子一起形成环，其中，作为单体(X)，包含选自下述化合物组中的至少一种化合物：环糊精、下述通式(I)所示的化合物、柱芳烃、下述通式(II)所示的化合物、下述通式(III)所示的化合物、以及下述通式(IV)所示的化合物，式(I)中，p表示1、3或5，q相同或不同，表示1～3的整数，Ra表示氢原子、碳原子数为1～4的烷基或叔丁基苯基，式(II)中，Rb相同或不同，表示氢原子或烷基，其中，Rb中的至少3个为氢原子，2CN106795279A权利要求书2/5页式(III)中，Rc相同或不同，表示氢原子或烷基；其中，Rc中的至少3个为氢原子；r表示1～4的整数，式(IV)中，Rd相同或不同，表示烷基；Re相同或不同，表示氢原子或烷基；其中，Re中的至少3个为氢原子，作为单体(Y)，包含下述通式(1)所示的化合物，式(1)中，R1表示氢原子或碳原子数为1～16的烷基；R2及R3相同或不同，表示氢原子、烷基或环烷基；另外，R1、R2及R3中的至少2个任选相互键合并与相邻的1个或2个碳原子一起形成环；X1表示m价的有机基团；m表示2以上的整数；带有m的括弧内的基团分别任选相同或不同。2.如权利要求1所述的超支化聚合物，其中，通式(1)所示的化合物为下述通式(2)所示的化合物，式(2)中，X2表示：任选具有1个以上选自羟基、烷氧基、羧基、烷氧基羰基、酰基、氨基、磺基、卤原子、氰基和硝基中的至少一种取代基的二价烃基；任选具有1个以上所述取代基的二价杂环基；1个以上的烃基和1个以上的杂环基键合而成、且任选具有1个以上所述取代基的二价基团。3CN106795279A权利要求书3/5页3.如权利要求2所述的超支化聚合物，其中，通式(2)中的X2为：二价脂肪族烃基；二价脂环式烃基；二价杂环基；或由选自脂肪族烃基、脂环式烃基及杂环基中的2个以上的基团键合而成且碳原子数为4～10的二价基团。4.如权利要求1～3中任一项所述的超支化聚合物，其数均分子量为2000～20000。5.如权利要求1～4中任一项所述的超支化聚合物，其是除了使单体(X)和单体(Y)反应之外，进一步使下述通式(3)所示的化合物进行反应而得到的，式(3)中，R4表示氢原子或碳原子数为1～16的烷基；R5及R6相同或不同，表示氢原子、烷基或环烷基；另外，R4、R5及R6中的至少2个任选相互键合并与相邻的1个或2个碳原子一起形成环；X3表示不具有-O-CR4＝CR5R6所示基团的一价有机基团。6.一种组合物，其含有权利要求1～5中任一项所述的超支化聚合物、光产酸剂以及有机溶剂。7.如权利要求6所述的组合物，其用于光致抗蚀剂用途。8.一种固化物，其是使权利要求6或7所述的组合物进行固化而得到的。9.一种图案形成方法，该方法包括，将权利要求6或7所述的组合物涂布于基材或基