电子枪的阴极机构及电子枪的阴极机构的制造方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116031117A(43)申请公布日2023.04.28(21)申请号202211237942.2(22)申请日2022.10.10(30)优先权数据2021-1746122021.10.26JP(71)申请人纽富来科技股份有限公司地址日本神奈川县(72)发明人小林良荣(74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司72002专利代理师刘英华(51)Int.Cl.H01J3/02(2006.01)H01J9/04(2006.01)权利要求书2页说明书14页附图15页(54)发明名称电子枪的阴极机构及电子枪的阴极机构的制造方法(57)摘要本发明提供一种能够使可得到期望的亮度分布的阴极的寿命延长的电子枪的阴极机构以及电子枪的阴极机构的制造方法。本发明的一个方式的电子枪的阴极机构具备：晶体，具有上部和下部，所述上部为柱状、圆锥台状或它们的组合，且具有通过加热而发射出热电子的第一面，所述下部与上部一体地构成，且具有与第一面大致平行且径尺寸比上部的最大径尺寸大的第二面；保持部，形成为从上表面侧具有与第一径尺寸和比第一径尺寸大的第二径尺寸不同的多个内径的筒状，在晶体的第一面比上表面突出且在筒内与晶体的第二面抵接的状态下保持晶体；以及抑制部，在晶体的下部的背面侧以避免晶体从保持部脱落的方式抑制晶体。CN116031117ACN116031117A权利要求书1/2页1.一种电子枪的阴极机构，具备：晶体，该晶体具有上部和下部，所述上部为柱状、圆锥台状或它们的组合，且具有通过加热而发射出热电子的第一面，所述下部与所述上部一体地构成，且具有与所述第一面平行且径尺寸比所述上部的最大径尺寸大的第二面；保持部，形成为从上表面侧具有与第一径尺寸和比所述第一径尺寸大的第二径尺寸不同的多个内径的筒状，在所述晶体的所述第一面比上表面突出且在筒内与所述晶体的所述第二面抵接的状态下保持所述晶体；以及抑制部，在所述晶体的所述下部的背面侧以避免所述晶体从所述保持部脱落的方式抑制所述晶体。2.根据权利要求1所述的电子枪的阴极机构，所述第一面从所述保持部的上表面的突出量为所述第一面的直径的10％以下。3.根据权利要求1所述的电子枪的阴极机构，在所述保持部形成有开口部，该开口部从所述上表面到中途的高度位置为止成为所述第一径尺寸、或者从所述上表面扩展的同时在所述中途的高度位置成为所述第一径尺寸，且从所述中途的高度位置朝向背面侧而成为比所述第一径尺寸大的所述第二径尺寸。4.根据权利要求1所述的电子枪的阴极机构，所述电子枪的阴极机构还具备支承所述保持部的第一支柱和第二支柱，所述第一支柱和所述第二支柱分别以维持相同的截面尺寸的状态延伸。5.根据权利要求1所述的电子枪的阴极机构，所述保持部和所述抑制部由相同材料构成。6.根据权利要求4所述的电子枪的阴极机构，所述第一支柱和所述第二支柱隔开所述第二径尺寸以上的宽度尺寸而对置。7.根据权利要求4所述的电子枪的阴极机构，还具备：支承所述第一支柱的第一基座部；以及支承所述第二支柱的第二基座部。8.根据权利要求7所述的电子枪的阴极机构，所述第一支柱的一端与所述保持部连接，另一端与所述第一基座部连接，所述第二支柱的一端与所述保持部连接，另一端与所述第二基座部连接。9.根据权利要求6所述的电子枪的阴极机构，所述保持部、所述第一支柱、所述第二支柱、所述第一基座部和所述第二基座部通过由相同材料形成的一体结构而形成。10.一种电子枪的阴极机构的制造方法，从形成有开口部的筒状的保持部的背面侧将具有上部和下部的晶体插入到所述开口部内，所述筒状的保持部从上面侧形成有与第一径尺寸和比第一径尺寸大的第二径尺寸不同的多个内径的开口部，所述上部为柱状、圆锥台状或它们的组合，且具有通过加热而发射出热电子的第一面，所述下部与所述上部一体地构成，且具有与所述第一面大致平行且径尺寸比所述上部的最大径尺寸大的第二面；在所述第一面从所述开口部的插入目的地突出且使所述晶体的所述第二面与从所述开口部内的所述第二径尺寸变为所述第一径尺寸的面抵接的状态下，通过抑制部在所述晶2CN116031117A权利要求书2/2页体的所述下部的背面侧以避免所述晶体从所述保持部脱落的方式抑制所述晶体。3CN116031117A说明书1/14页电子枪的阴极机构及电子枪的阴极机构的制造方法[0001][关联申请][0002]本申请享受以日本专利申请2021‑174612号(申请日：2021年10月26日)为基础申请的优先权。本申请通过参考此基础申请包括基础申请的全部内容。技术领域[0003]本发明的一个方式涉及电子枪的阴极机构以及电子枪的阴极机构的制造方法。背景技术[0004]担负半导体器件的微细化的进展的光刻技术是在半导体制造工艺中生成唯一图案的