适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂、制绒液及应用.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112144122A(43)申请公布日2020.12.29(21)申请号202011131120.7(22)申请日2020.10.21(71)申请人常州时创能源股份有限公司地址213300江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号(72)发明人周树伟张丽娟陈培良(51)Int.Cl.C30B33/10(2006.01)C23F1/32(2006.01)权利要求书1页说明书4页(54)发明名称适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂、制绒液及应用(57)摘要本发明公开了一种适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂、制绒液及应用，所述制绒添加剂由如下质量百分比含量的组分组成：主成核剂0.5～10%，补充成核剂0.2~5%，支化分散剂0.01～0.1%，脱泡剂0.05～0.5%，余量为水。所述制绒液包括上述制绒添加剂和碱溶液。所述制绒添加剂应用于大尺寸单晶硅片的制绒。本发明彻底解决了大尺寸硅片制绒后的片内不均匀问题；制绒反射率低、制绒时间短；制绒后硅片的片内反射率差异缩小至0.10～0.15%，优于商用制绒添加剂。CN112144122ACN112144122A权利要求书1/1页1.一种适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂，其特征在于：由如下质量百分比含量的组分组成：主成核剂0.5～10%，补充成核剂0.2~5%，支化分散剂0.01～0.1%，脱泡剂0.05～0.5%，余量为水。2.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂，其特征在于：所述主成核剂为水解聚丙烯腈钠盐，所述补充成核剂为聚氨基酸。3.根据权利要求2所述的一种适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂，其特征在于：所述聚氨基酸选自聚谷氨酸、聚天冬氨酸、聚赖氨酸、聚二氨基丁酸和聚二氨基丙酸中的一种或多种。4.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂，其特征在于：所述支化分散剂为支化聚乙烯亚胺。5.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂，其特征在于：所述脱泡剂选自十二烷基三甲基氯化铵、十六烷基三甲基氯化铵、十八烷基三甲基氯化铵中的一种或多种。6.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂，其特征在于：所述水为去离子水。7.一种单晶制绒用制绒液，其特征在于：包括权利要求1-6中任一项所述的制绒添加剂和碱溶液，所述制绒添加剂和碱溶液的质量比为0.25～2.5:100，所述碱溶液为无机碱的水溶液。8.根据权利要求7所述的单晶制绒用制绒液，其特征在于：所述碱溶液为1～3wt%的氢氧化钠或氢氧化钾水溶液。9.一种适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂的应用，其特征在于，所述制绒添加剂应用于大尺寸单晶硅片的制绒，具体包括以下步骤：（1）将质量百分含量为0.5～10%的主成核剂，0.2~5%的补充成核剂，0.01～0.1%的支化分散剂，0.05～0.5%的脱泡剂加入到余量的水中，混合均匀配成制绒添加剂；（2）将步骤（1）制成的制绒添加剂按比例加入到碱溶液中，混合均匀配成制绒液；其中制绒添加剂与碱溶液的质量比为0.25～2.5:100，碱溶液为无机碱的水溶液；（3）将大尺寸单晶硅片浸入步骤（2）制得的制绒液中进行表面制绒，得制绒后硅片。10.根据权利要求9所述的制绒添加剂的应用，其特征在于：步骤（1）中，所述主成核剂为水解聚丙烯腈钠盐，所述补充成核剂为聚氨基酸；所述支化分散剂为支化聚乙烯亚胺；所述脱泡剂选自十二烷基三甲基氯化铵、十六烷基三甲基氯化铵、十八烷基三甲基氯化铵中的一种或多种；所述水为去离子水；步骤（2）中，所述碱溶液为1～3wt%的氢氧化钠或氢氧化钾水溶液；步骤（3）中，所述表面制绒的温度为75～85℃，时间为5～8min。2CN112144122A说明书1/4页适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂、制绒液及应用技术领域[0001]本发明涉及制绒添加剂、制绒液及应用，尤其涉及适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂、制绒液及应用。背景技术[0002]由于半导体产业规模化发展早于光伏行业，并且光伏硅片与半导体硅片在技术方面本身就极为相似，在半导体硅片尺寸经历了从上世纪60年代的0.75英寸到现如今的12英寸以及即将换代的18英寸，因而源自于半导体硅片尺寸标准的光伏硅片经历了尺寸从小到大的三次变革。2012年以前，硅片尺寸从100mm、125mm增加到156mm；2012至2018年，硅片尺寸由M0（边距156mm）变革为M1（边距156.75mm）、M2（边距156.75mm）；2018年至今，硅片尺寸变革为更大的G1(边距158.75mm)、M6（边距166mm）、M12（边距210mm）。[0003]硅片尺寸增大的驱动力根本上是摊薄成本。为了响应国家平价上网政策的要求，降低度电成本，提高行业竞