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本发明提供了一种含氟二胺单体、聚酰亚胺、聚酰亚胺薄膜以及制备方法。本发明提供的含氟二胺单体,具有式(Ⅰ)所示结构,其具有含氟基团(?F和/或?CF3)以及双苯并环丁烷基团,上述特定的结构的二胺单体能够使聚酰亚胺薄膜具有较高的透光性,同时使材料具有更好的耐热性。