一种碳化硅高温氧化激活炉.pdf

本实用新型公开了一种碳化硅高温氧化激活炉,包括氧化激活工艺室、工艺气体系统、真空及压力控制系统和控制中心,氧化激活工艺室包括加热器和工艺管,加热器和工艺管采用相同材质的耐高温材料,工艺气体系统至少包括主供气气路和辅供气气路,主供气气路用于向氧化激活工艺室输送Ar,辅供气气路用于向氧化激活工艺室1输送N2,本实用新型通过氧化激活工艺室内衬管、工艺管、承片架、舟架以及加热器采用相同材质的耐高温材料,保证氧化激活工艺室内的高洁净度,高温恒温区域中心和两端分别采用热电偶进行实时的温度控制和监测,保证高温恒温区域工艺温度的稳定性和一致性。