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一种籽晶和籽晶托的粘接装置以及粘接方法.pdf
2023-05-26
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本申请提供了一种籽晶与籽晶托的粘接装置以及粘接方法,包括:腔室以及位于腔室内的加热模块、籽晶托和施压模块;其中,加热模块位于腔室底部;籽晶托位于加热模块背离腔室底部的一侧,籽晶托用于固定籽晶,籽晶固定在籽晶托背离加热模块的一侧;施压模块位于籽晶托背离加热模块的一侧,用于朝向籽晶施压,以使得籽晶与籽晶托的贴合固定;施压模块包括第1施压单元至第n施压单元,n为大于1的正整数,其中,第n施压单元包围第n?1施压单元;施压模块用于依次控制第1施压单元至第n施压单元向籽晶施压。本发明技术方案提供的粘接装置以及粘接方
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