抗震的MEMS致动器结构.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116022722A(43)申请公布日2023.04.28(21)申请号202310124074.5(51)Int.Cl.(22)申请日2016.11.04B81B7/00(2006.01)B81B7/02(2006.01)(30)优先权数据B81B5/00(2006.01)14/985,1752015.12.30US(62)分案原申请数据201680075651.42016.11.04(71)申请人麦斯卓微电子（南京）有限公司地址211806江苏省南京市浦口区桥林街道步月路9号-50(72)发明人格拉尔多·莫拉比托刘晓磊王桂芹罗曼·古铁雷斯马修·恩格(74)专利代理机构北京高文律师事务所11359专利代理师王冬马晓田权利要求书1页说明书11页附图14页(54)发明名称抗震的MEMS致动器结构(57)摘要公开了抗震MEMS结构。在一个实施方式中，用于MEMS装置的运动控制挠曲件包括：包括第一端部和第二端部的杆，其中杆沿其长度逐渐变细，使得杆在其中心处最宽并且在其端部处最薄；直接连接到杆的第一端部的第一铰链；以及直接连接到杆的第二端部的第二铰链。在另一实施方式中，用于MEMS装置的导电悬臂包括：弯曲的中心部分，其包括第一端部和第二端部，其中中心部分具有拐点；连接到中心部分的第一端部的第一根部；以及连接到中心部分的第二端部的第二根部。在又一个实施方式中，描述了用于MEMS装置的震动止动件。CN116022722ACN116022722A权利要求书1/1页1.一种用于微机电系统(MEMS)装置的运动控制挠曲件，包括：杆，包括第一端部和第二端部，其中所述杆沿其长度逐渐变细，使得所述杆在其中心处最宽并且在其端部处最薄；第一铰链，直接连接到所述杆的第一端部；以及第二铰链，直接连接到所述杆的第二端部。2.根据权利要求1所述的运动控制挠曲件，其中所述杆的长在1mm与4mm之间，宽在10μm与70μm之间。3.根据权利要求2所述的运动控制挠曲件，其中所述第一铰链和所述第二铰链中的每一个的长在0.05mm与0.3mm之间并且宽在1μm与10μm之间。4.根据权利要求3所述的运动控制挠曲件，其中所述挠曲件沿着其长度的方向是刚性的并且在垂直于其长度的方向上是挠性的。5.根据权利要求2所述的运动控制挠曲件，其中所述杆在其中心处约50μm宽并且在其第一端部和第二端部处约35μm宽。6.根据权利要求1所述的运动控制挠曲件，其中所述第一铰链和所述第二铰链各自连接到MEMS致动器的相应框架。2CN116022722A说明书1/11页抗震的MEMS致动器结构[0001]相关申请[0002]本申请要求于2015年12月30日提交的标题为“抗震的MEMS致动器结构”的美国通用申请序列第14/985,175号的权益。其内容通过引用并入本文，如同其全部内容一样。[0003]本申请是申请号为201680075651.4的发明申请的分案申请，所述发明申请的申请日为2016年11月4日，发明名称为“抗震的MEMS致动器结构”。技术领域[0004]本公开一般涉及用于微机电系统(MEMS)的抗震结构，并且更具体地涉及用于MEMS致动器的抗震结构。发明内容[0005]根据本文公开的技术的各种实施例，公开了抗震MEMS装置结构。在一个实施例中，用于MEMS装置的运动控制挠曲件包括：包括第一端部和第二端部的杆，其中杆沿其长度逐渐变细，使得杆在其中心处最宽并且在其端部处最薄；直接连接到杆的第一端部的第一铰链；以及直接连接到杆的第二端部的第二铰链。在该实施例的各种实施方式中，杆的长可以在1mm至4mm之间并且宽在10μm至70μm之间，并且第一铰链和第二铰链中的每一个的长为0.05mm至0.3mm并且宽为1μm至10μm。在具体的实施方式中，杆在其中心处约50μm宽，并且在其第一端部和第二端部处约35μm宽。[0006]在另一个实施例中，用于MEMS装置的导电悬臂包括具有第一端部和第二端部的弯曲的中心部分，其中中心部分包括拐点；连接到中心部分的第一端部的第一根部；以及连接到中心部分的第二端部的第二根部。在该实施例的各种实施方式中，导电悬臂的总长度可以在4.5毫米与7毫米之间，并且中心部分的宽可以在0.012毫米至0.030毫米。在导电悬臂的一个具体实施方式中，第一根部和第二根部中的每一个在垂直于悬臂长度的方向上通过相应分叉接合部连接到中心部分。在该实施方式中，分叉接合部包括多个平行梁。在一个实施例中，分叉接合部包括第一锥形端部，该第一锥形端部在垂直于悬臂长度的方向上连接到第二锥形端部。[0007]在又一个实施例中，用于MEMS装置的震动止动件的宽在0.250毫米至1.000毫米之间并且长在0.0250毫米至1.200毫米之间，