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本发明公开一种锂掺杂氧化镍薄膜的制备方法及OLED器件,所述制备方法首先取一块洗净的玻璃或者透明电极作为衬底,用紫外灯处理15min;将六水合硝酸镍和硝酸锂溶于有机溶剂A中,再加入有机助燃剂C,室温搅拌24h溶解均匀形成溶液B;其次将处理后的衬底置于氮气氛围的手套箱内,用移液枪吸取溶液B滴于衬底上,再用旋涂仪旋涂形成设定厚度的薄膜;然后将旋涂后的薄膜进行退火处理;最后待退火结束后温度降至室温时,按照设定时间用紫外灯照射退火后的薄膜进行氧化处理。本发明在低温条件下就能获得具有高电导率的纳米锂掺杂氧化镍薄膜,不仅降低能源和原材料消耗,还将锂掺杂氧化镍薄膜作为空穴注入层,进而提升OLED器件的发光性能。