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一种空气桥的制备方法及一种超导量子器件.pdf

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本申请公开了一种空气桥的制备方法,属于量子信息领域,尤其是量子计算技术领域。所述方法包括:提供形成有外延层的衬底,所述外延层包括分隔的第一子层和第二子层;形成桥支撑层于所述第一子层和所述第二子层之间;形成金属层于所述衬底在所述桥支撑层一侧的表面,所述金属层包括覆盖所述桥支撑层且连接所述第一子层和所述第二子层的空气桥;形成抗蚀层覆盖所述空气桥;依次利用第一刻蚀液和第二刻蚀液刻蚀去除裸露的所述金属层,且所述第二刻蚀液的浓度小于所述第一刻蚀液的浓度;去除所述抗蚀层和所述桥支撑层获得所述空气桥。本方案能够制备出将分隔的第一子层和第二子层连接的空气桥,且不易对外延层造成损伤。