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本发明公开一种蒸发装置以及包括该蒸发装置的放射性废液处理系统及方法,所述蒸发装置包括半导体组件、蒸发室、冷凝室,所述半导体组件包括半导体制冷片,所述半导体制冷片的一侧为散热侧,另一侧为制冷侧,所述散热侧设于所述蒸发室内,所述制冷侧设于所述冷凝室内,所述蒸发室与所述冷凝室连通,进入蒸发室的废液在蒸发室加热后产生的蒸汽再进入冷凝室,并在所述冷凝室进行冷凝。所述蒸发装置尺寸较小、结构简单,能够实现集成化。