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本发明的课题在于提供一种饱和磁通密度高、铁损低的软磁性合金、软磁性合金薄带及其制造方法、磁芯、以及部件。解决方案为一种软磁性合金,其为由组成式(Fe1?xAx)aSibBcCudMe表示的软磁性合金,其中,A为Ni和Co中的至少1种,M为选自由Nb、Mo、V、Zr、Hf和W组成的组的1种以上,以原子%计82.4≤a≤86、0.2≤b≤2.4、12.5≤c≤15.0、0.05≤d≤0.8、0.4≤e≤1.0、0≤x≤0.1,所述软磁性合金具有在非晶相中存在粒径60nm以下的晶粒的组织。