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一种柔性单晶薄膜光电探测器件及其制备方法.pdf

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本发明属于微纳制造与光电探测器件相关技术领域,其公开了一种柔性单晶薄膜光电探测器件及其制备方法,其制备方法包括以下步骤:(1)采用直流磁控溅射技术在NaCl晶体表面制备单晶薄膜材料;(2)薄膜从NaCl晶体表面剥离;(3)在柔性塑料基底上制备电极结构;(4)将剥离脱落的单晶薄膜转移至形成电极结构的塑料基底上,制备完成。本发明具有工艺简单、生产过程及产品均绿色环保,成品率高、制造成本低,可实现宽波段探测、响应率高及高柔性等优点,适于规模化工业生产,在光电探测和可穿戴设备等领域具有广阔的应用前景。