一种晶圆存放盒的清洗烘干设备及清洗烘干方法.pdf

本发明公开了一种晶圆存放盒的清洗烘干设备及清洗烘干方法,清洗烘干设备包括机架、机械手、上料装置、清洗装置、烘干装置和下料装置,清洗装置和烘干装置上分别设置相应的旋钮机构和定位机构,可以在将晶圆存放盒进行清洗和烘干时,将晶圆存放盒的盖子和盒体分开,使二者相对独立不盖合,可以对盒体和盖子进行充分的清洗和烘干,保证清洁程度,同时晶圆存放盒烘干过程中通过提高氮气环境,并在真空环境下,可以降低液体沸点,提高烘干效率,避免缝隙中水分残留,具有优异的烘干效果。