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一种MEMS器件及其制造方法.pdf

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本发明提供一种MEMS器件及其制造方法,所述方法包括:提供基底,基底上形成有相对设置的复合振膜结构和背极板,复合振膜结构和背极板之间具有空腔,复合振膜结构包括层叠的张应力膜层和压应力膜层,张应力膜层和压应力膜层中的一者为介质层,另一者为导电层;检测复合振膜结构的吸合电压;当吸合电压高于第一阈值电压时,减薄张应力膜层以降低吸合电压至预定阈值区间内,预定阈值区间不大于第一阈值电压且不小于第二阈值电压,其中,第一阈值电压大于第二阈值电压;当吸合电压低于第二阈值电压时,减薄压应力膜层以升高吸合电压至预定阈值区间内。本发明的方法能够形成复合振膜,进而双向调节吸合电压,进而提高产品良率。