一种扫描电镜样品的镶嵌方法.pdf

本发明公开了一种扫描电镜样品的镶嵌方法,包括:提供合金材料作为镶嵌料,并将镶嵌料切为块状结构;将待镶嵌的样品放置在载片上并使样品的观察面与载片接触;使用双面开口的模具罩住所述样品并确保样品位于模具的中心位置;在模具内围绕样品铺设块状结构的镶嵌料,并使所述镶嵌料的高度高于样品;加热所述镶嵌料使所述镶嵌料完全覆盖样品并平铺在模具底部;向镶嵌料和样品施压压力,以确保镶嵌料成型;将镶嵌完成的样品从载片上取下并脱模。本发明可以确保在半凝固状态下的合金镶嵌料和样品之间结合紧密,从而保证样品与镶嵌料间良好的导电性,解决了在扫描电镜样品在观察中出现的局部电子难以被中和、影响成像质量的问题。