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本发明的目的在于提供一种工件支撑装置,其能够在同一位置进行吸附与刚体支持,以谋求装置的精简化且防止颤振。本发明的工件支撑装置具有:箱构件(3),设于支持工件(2)的工件支持部(1),且具有轴心(4);支撑构件(5),沿所述轴心方向移动自如地设于该箱构件(3),且该支撑构件的一端部设为自所述箱构件(3)朝外方突出而支持所述工件(2)的突出端部(6);吸附垫(7),同心状地设于所述突出端部(6),以吸附于所述工件(2);调整装置(8),设于所述支撑构件(5)与所述箱构件(3)之间,以调整所述支撑构件(5)对于所述工件(2)的抵接压;吸气通路(9),使与所述工件(2)抵接的所述吸附垫(7)内成为负压,并将用以将所述突出端部(6)吸附固定于所述工件(2)所设置的吸气口(10)与设于所述箱构件(3)的吸引埠(11)之间连通;以及固定装置(13),在所述吸附固定的状态下,将所述支撑构件(5)固定于所述箱构件(3)。