一种石英炉管自动抛光机.pdf
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一种石英炉管自动抛光机.pdf
本实用新型公开了一种石英炉管自动抛光机,包括底座,以及设置在底座顶部的机架;机架包括横板和一对竖板;横板的顶部设有定位槽,横板的底部设有电磁铁,电磁铁的动铁芯连接有传动板,传动板的顶部设有两个竖杆,竖杆的上端贯穿横板并连接有压块;横板的顶部还设有竖向滑轨,竖向滑轨上连接有滑块,横板的底部设有升降驱动电机,升降驱动电机连接有与滑块螺纹配合的丝杆,滑块上连接有升降板,升降板的顶部设有旋转驱动电机,旋转驱动电机连接有旋转板,旋转板的底部设有两个火焰枪,两个火焰枪分别位于定位槽的两侧。本实用新型一种石英炉管自动抛
石英炉管自动抛光机以及抛光方法.pdf
一种石英炉管自动抛光机,该抛光机具有:石英炉管;机台,是整个抛光机的基座;第一导轨,安装在机台上表面;第二导轨,安装在机台侧表面;内火焰枪架,用于安装内火焰枪,所述内火焰枪架通过滑块安装在第一导轨上,并且内火焰枪架位于石英炉管的轴线上,使得内火焰枪可以沿着第一导轨移动,对石英炉管内表面进行火焰抛光;外火焰枪架,用于安装外火焰枪,所述外火焰枪架通过滑块安装在第二导轨上,使得外火焰枪可以沿着第二导轨移动,对石英炉管外表面进行火焰抛光;转台,通过转台的夹具夹持石英炉管,同时在转台电机的驱动下,使得石英炉管作轴向
一种全自动石英玻璃抛光机.pdf
本发明公开了一种全自动石英玻璃抛光机,包括底座,底座顶部连接有支撑腿,支撑腿顶端固定连接有工作台,工作台顶部连接有支撑杆,支撑杆顶端固定连接有顶板,顶板底部固定连接有液压伸缩杆,液压伸缩杆底端固定连接有连板,连板底部固定连接有第一电机,第一电机输出端连接有第一转轴,第一转轴底端固定连接有抛光盘,底座顶部设有真空泵,真空泵上连接有气管,工作台内开有腔室,气管与腔室相连接,工作台顶部开有多组吸附孔,工作台顶部后侧设有吸尘组件;通过真空泵对腔室内进行抽真空处理,石英玻璃通过吸附孔被吸附在工作台上,对玻璃进行固定
一种石英炉管.pdf
本发明提供了一种石英炉管,包括炉管本体,所述炉管本体的第一端面开设有炉口,所述炉管本体的第二端面设置为炉尾,所述炉管本体内设有炉腔;所述炉腔内靠近所述炉尾的一端设置有气室,所述炉尾上开设有至少一个进气口和至少一个出气口,所述至少一个进气口与所述气室相连通,所述出气口与所述炉腔相连通;所述气室的顶板上设置有向所述炉口方向延伸的至少一根支管,所述至少一根支管与所述气室相通,所述至少一根支管的支管壁上开有多个支管透气孔。本发明解决了工艺气体从炉尾直接向炉口流动导致气流分布不均匀的问题,使得工艺气体可从晶圆片的四
一种石英炉管用炉帽.pdf
本发明公开了一种石英炉管用炉帽,包括圆柱形帽体,其特征在于:所述圆柱形帽体的下表面上设置有空心内管,空心内管伸入到石英炉管内,空心内管内填充有石英棉。本发明隔热效果好,减少了炉管的热损失量,降低了石英炉管能耗。