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设备以及使用该设备制造物品的实施方法.pdf
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设备以及使用该设备制造物品的实施方法.pdf
本发明提供一种在同时并行地执行物品的制造和其他工作时,能够有效地执行工作并且保持制造物品的位置的清洁度的设备;以及通过使用该设备制造物品的实施方法。该设备包括清洁室1、设置在清洁室1内并且每个包括入口和出口的多个工作间2以及沿多个工作间2的入口和出口设置并且被构造成防止气流通过入口和出口从外部进入内部的屏障部分。多个工作间2中的每一个内的区域具有与在多个工作间2的外部且在清洁室1的内部的区域相同的清洁度级别。
2023-05-18
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