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本发明公开了一种超高真空除气干燥的方法及系统,属于超高真空除气干燥的领域,包括以下步骤:打开预处理腔室的腔室门,将待干燥的样品送入预处理腔室内,关闭腔室门,通过干式组件抽真空,除去预处理腔室及真空腔室中的水汽,且保持预处理腔室及真空腔室的气压平衡;打开第一闸板阀,采用送样组件将待干燥的样品送入真空腔室,送样组件复位,关闭第一闸板阀,通过冷式组件抽真空腔室的真空度到小于1×10?3Pa,后采用加热炉对真空腔室进行加热干燥;待干燥的样品干燥完成之后,采用充气系统进行气体回填,可以使干燥的器件样品的水汽含量相对于国标降低一个数量级,相对于将行业水平提高5倍。