一种超高真空除气干燥的方法及系统.pdf
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一种超高真空除气干燥的方法及系统.pdf
本发明公开了一种超高真空除气干燥的方法及系统,属于超高真空除气干燥的领域,包括以下步骤:打开预处理腔室的腔室门,将待干燥的样品送入预处理腔室内,关闭腔室门,通过干式组件抽真空,除去预处理腔室及真空腔室中的水汽,且保持预处理腔室及真空腔室的气压平衡;打开第一闸板阀,采用送样组件将待干燥的样品送入真空腔室,送样组件复位,关闭第一闸板阀,通过冷式组件抽真空腔室的真空度到小于1×10<base:Sup>?3</base:Sup>Pa,后采用加热炉对真空腔室进行加热干燥;待干燥的样品干燥完成之后,采用充气系统进行气
一种超高真空除气装置及方法.pdf
本发明公开了一种超高真空除气装置及方法,包括支撑在波纹管支架上的法兰座,法兰座上连接有可伸缩的波纹管,波纹管的中心设有若干根通过固定的陶瓷支座支撑杆,陶瓷支座连接灯丝;支撑杆中心设有接线柱;在波纹管支架上设有波纹管驱动机构,波纹管驱动机构通过驱动轴螺纹连接平行板支架,通过驱动把手带动驱动轴转动,使得平行板支架的中部平行板沿轴向移动,从而带动连接在波纹管的后端法兰沿轴向移动,驱动波纹管伸缩移动,带动灯丝沿波纹管伸缩。利用真空加热源的热辐射与热电子的动能,从腔体内部给腔壁表面加热,显著加速了内壁表面吸附的气体
一种超高真空束源炉坩埚除气装置.pdf
本发明公开了一种超高真空束源炉坩埚除气装置,该装置包括:在真空腔室上通过第一刀口法兰与真空规管上的第五刀口法兰连接,通过第二刀口法兰与闸板阀上的第六刀口法兰连接,通过第三和第四刀口法兰分别安装2台束源炉上的第九刀口法兰连接。在闸板阀上通过第七刀口法兰与真空泵上的第八刀口法兰连接。该装置结构简单,在暴露大气后能快速恢复到超高真空度,束源炉装卸简单,极大地提高了束源炉坩埚除气的工作效率。
真空干燥系统和真空干燥方法.pdf
本发明涉及一种真空干燥系统和方法,该系统包括:支撑平台,用于支撑衬底基板,其中,所述支撑平台包括多个沿预设方向设置的子平台,相邻子平台之间形成有间隙;机械臂,包括多个与所述间隙相对应的条状结构,用于将所述衬底基板置于所述支撑平台或将所述衬底基板移出所述支撑平台。根据本发明的技术方案,通过支撑平台来支撑衬底基板,相对于现有技术在真空干燥工艺中通过多个针状支撑物来支撑衬底基板,支撑平台与衬底基板的接触面积要大得多,可以降低对衬底基板的局部压力,从而避免衬底基板因真空干燥过程中的支撑操作而产生显示器亮度不均匀。
一种真空玻璃的除气方法及装置.pdf
本发明公开了一种真空玻璃的除气装置,其包括玻璃板承载装置、氧化性液体储存装置、加热装置和真空抽气系统;真空玻璃放置在玻璃板承载装置上,氧化性液体储存装置和真空抽气系统通过管路与真空玻璃的真空腔连接;加热装置设置在玻璃板承载装置及真空玻璃的上方或下方,用于对真空玻璃进行加热。本发明通过向封接后的真空玻璃反复通入氧化性液体,实现除去封接残留物的目的。真空腔内部的气体分子得到彻底地释放,避免了在以后的使用过程中,真空玻璃的真空度降低,保证了在使用过程中,真空玻璃的隔热隔音的效果。