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正型感光性树脂组合物.pdf

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本发明涉及一种正型感光性树脂组合物,含有碱溶性树脂(A)、感光剂(B)、交联剂(C)、表面活性剂(D),上述交联剂(C)含有具有选自羧基、酚性羟基、磺基和磷酸基中的1种以上作为酸性基团的化合物,具有上述酸性基团的化合物的比例以质量比计相对于(A)+(B)+(C)+(D)的合计在5～35%的范围,上述表面活性剂(D)不具有F原子。