内容提供者
基板研磨装置和基板研磨方法.pdf
2023-05-12
10金币
1.9MB
37页
书生****写意
实名认证
内容提供者
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10
亲，该文档总共37页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～
相关资料
基板研磨装置和基板研磨方法.pdf
本发明提供一种在测定研磨中的基板的膜厚时,能够不使光的透过率降低地以较高精度进行测定的基板研磨装置和基板研磨方法。基板研磨装置(1)具备载物台(10)、保持研磨垫(22)的研磨头(21)、研磨液供给喷嘴(28)、膜厚测定头(31)、光谱解析部(34)、安装有膜厚测定头(31)的测定头喷嘴(40),测定头喷嘴(40)具备形成横穿光和反射光的光路的液体的流动的第一流路系统(71)和第二流路系统(72),第一流路系统(71)具有位于光路上的开口部(154),第二流路系统(72)具有液体喷出口(254)和液体吸入
2023-05-12
10
1.9MB
玻璃基板的制造方法、研磨方法及研磨装置以及玻璃基板.pdf
本发明提供一种玻璃基板的制造方法、研磨方法及研磨装置以及玻璃基板，能够提高玻璃基板的研磨精度。该研磨装置具备：驱动上平台(40)的电动机、驱动下平台(30)的电动机、驱动设于下平台(30)的内周的内侧的太阳齿轮的电动机、驱动设于下平台(30)的外周的外侧的内啮合齿轮的电动机、以及控制这些电动机的控制部(90)，控制部(90)通过控制这些电动机的驱动而对玻璃基板进行研磨，其特征在于，控制部(90)基于这些电动机的驱动所需的电力或者电力量调整玻璃基板的研磨。
2023-10-21
10
998KB
玻璃基板边角研磨装置和研磨方法.pdf
本发明公开了一种玻璃基板边角研磨装置和研磨方法，其中，研磨装置包括能够沿玻璃基板(1)的边部移动的研磨轮(2)和用于驱动研磨轮(2)旋转的驱动装置，驱动装置连接有速度调节机构，以调节研磨轮(2)的转速，从而使得研磨轮在研磨玻璃基板的边部和角部转速不同，可以同时保证玻璃基板边部和角部的质量。
2023-09-03
10
497KB
基板端面研磨装置及研磨判定方法.pdf
本发明的目的在于提供一种将研磨轮的磨损槽深度引入修正要素的、可靠性高并适应控制的基板端面研磨装置，以及基板端面的研磨是否良好的判定方法。基板端面研磨装置的特征在于包括：对基板端面进行研磨加工的研磨轮、该研磨轮的旋转驱动组件、以及所述研磨轮的切入送出组件；研磨轮的旋转驱动组件具有：利用基板端面接触的负载电流检测组件、以及通过在研磨轮产生的磨损槽的槽侧面接触于基板而产生的负载电流的修正组件。
2023-10-22
10
663KB
一种液晶玻璃基板研磨装置和研磨方法.pdf
本发明公开了一种液晶玻璃基板研磨装置和研磨方法，解决了液晶玻璃基板研磨产热时不能有效降温的问题。本发明的研磨装置包括：研磨轮，所述研磨轮的外周面设有内凹槽；冷却水喷嘴，所述冷却水喷嘴包括第一喷嘴和第二喷嘴；移动支架，所述研磨轮和所述冷却水喷嘴均设于所述移动支架上；其中，所述液晶玻璃基板的端缘部与内凹槽壁抵接时形成抵接部位；所述第一喷嘴向所述抵接部位喷洒冷却水并形成第一喷洒方向；所述第二喷嘴向所述抵接部位喷洒冷却水并形成第二喷洒方向。采用本发明装置对液晶玻璃基板研磨可有效降低玻璃基板和研磨轮的温度，减少液晶
2023-09-03
10
664KB