玻璃基板的制造方法、研磨方法及研磨装置以及玻璃基板.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102019579A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102019579A(43)申请公布日2011.04.20(21)申请号201010287381.8(22)申请日2010.09.17(30)优先权数据2009-2158012009.09.17JP(71)申请人旭硝子株式会社地址日本东京(72)发明人木村宏池田训仁展山口龙(74)专利代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司11219代理人高培培车文(51)Int.Cl.B24B37/04(2006.01)B24B51/00(2006.01)权利要求书3页说明书16页附图15页(54)发明名称玻璃基板的制造方法、研磨方法及研磨装置以及玻璃基板(57)摘要本发明提供一种玻璃基板的制造方法、研磨方法及研磨装置以及玻璃基板，能够提高玻璃基板的研磨精度。该研磨装置具备：驱动上平台(40)的电动机、驱动下平台(30)的电动机、驱动设于下平台(30)的内周的内侧的太阳齿轮的电动机、驱动设于下平台(30)的外周的外侧的内啮合齿轮的电动机、以及控制这些电动机的控制部(90)，控制部(90)通过控制这些电动机的驱动而对玻璃基板进行研磨，其特征在于，控制部(90)基于这些电动机的驱动所需的电力或者电力量调整玻璃基板的研磨。CN102957ACCNN102019579102019593AA权利要求书1/3页1.一种玻璃基板的制造方法，包含通过设于研磨装置的电动机的驱动而对玻璃基板进行研磨的研磨工序，其特征在于，基于所述电动机的驱动所需的电力或者电力量，进行对在所述研磨工序中进行的所述玻璃基板的研磨进行控制的控制动作。2.如权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其中，基于所述电力或者电力量在所述电动机的驱动中进行所述控制动作。3.如权利要求1或者2所述的玻璃基板的制造方法，其中，对于所述电动机，预先求出根据所述电力或者电力量而变化的第一变量和根据所述玻璃基板的研磨量而变化第二变量之间的相关关系，所述控制动作为根据求出的所述相关关系调整所述玻璃基板的研磨量的调整动作。4.如权利要求3所述的玻璃基板的制造方法，其中，所述第一变量为用所述电动机的驱动时间去除所述电力量所得的值即平均电力值，所述第二变量为研磨速度乘以所述玻璃基板的片数所得到的乘积值，其中，所述研磨速度是用所述电动机的驱动时间去除所述玻璃基板的研磨量而得到的值，所述相关关系是通过求出表示所述平均电力值和所述乘积值之间关系的回归式的系数而特定的、所述玻璃基板的研磨量和所述电力量及所述电动机的驱动时间之间的关系式，所述调整动作为下述驱动动作：在所述电动机的驱动中将所述电力量及所述电动机的驱动时间依次代入所述关系式，驱动所述电动机直至根据所述关系式导出的所述玻璃基板的研磨量达到规定的目标值。5.如权利要求1～4中任一项所述的玻璃基板的制造方法，其中，所述研磨工序包含于具备形状加工工序、端面研磨工序和清洗工序的制造工艺中。6.如权利要求5所述的玻璃基板的制造方法，其中，所述制造工艺中含有化学强化工序。7.如权利要求1～6中任一项所述的玻璃基板的制造方法，其中，所述玻璃基板为磁记录介质用玻璃基板。8.一种玻璃基板的研磨方法，通过设于研磨装置的电动机的驱动而对玻璃基板进行研磨，其特征在于，基于所述电动机的驱动所需的电力或者电力量调整所述玻璃基板的研磨量。9.如权利要求8所述的玻璃基板的研磨方法，其中，基于所述电力或者电力量在所述电动机的驱动中调整所述玻璃基板的研磨量。10.如权利要求8或者9所述的玻璃基板的研磨方法，其中，对于所述电动机，预先求出根据所述电力或者电力量而变化的第一变量和根据所述玻璃基板的研磨量而变化的第二变量之间的相关关系，根据求出的所述相关关系调整所述玻璃基板的研磨量。11.如权利要求10所述的玻璃基板的研磨方法，其中，所述第一变量为用所述电动机的驱动时间去除所述电力量得到的值即平均电力值，所述第二变量为研磨速度乘以所述玻璃基板的片数所得到的乘积值，其中，所述研2CCNN102019579102019593AA权利要求书2/3页磨速度是用所述电动机的驱动时间去除所述玻璃基板的研磨量而得到的值。所述相关关系是通过求出表示所述平均电力值和所述乘积值之间关系的回归式的系数而特定的、所述玻璃基板的研磨量和所述电力量及所述电动机的驱动时间之间的关系式，在所述电动机的驱动中将所述电力量及所述电动机的驱动时间依次代入所述关系式，驱动所述电动机直至根据所述关系式导出的所述玻璃基板的研磨量达到规定的目标值。12.如权利要求8～11中任一项所述的玻璃基板的研磨方法，其中，所述玻璃基板为磁记录介质用玻璃基板。13.一种玻璃基板，其中，通过权利要求8～12中任一项所述的玻璃基板的研磨方法研磨而成。14.一种研