一种飞秒等离子体光栅直写制造大面积体光栅的方法.pdf

本发明公开了一种飞秒等离子体光栅直写制造大面积体光栅的方法,其特点在于该方法利用超快激光脉冲先在玻璃内形成等离子体光栅,然后再移动玻璃样品直接刻蚀出局域的预制体光栅,接着改变等离子体光栅刻蚀的位置,并且等离子体光栅中的部分光丝与预制体光栅重合,利用局域体光栅的波导耦合特性,可以无缝、整齐地随着等离子体光栅的刻蚀而直写出大面积体光栅。此方法不仅简化了体光栅制造流程,降低体光栅制备成本,还可以设计不同面积、不同光栅常数的加工方案,制备出光学质量高、米级别的光栅。