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本发明涉及一种方法用于热清除工艺气体中的有害物质,其中,为了产生火焰以燃烧有害物质而将燃烧气体和氧气导入到燃烧器(1)的燃烧室(19)中并且在那里点燃,其中,为了与燃烧气体相比减小混合气体的燃烧值而导入稀释气体,并且为了调整由稀释气体和燃烧气体构成的混合气体而根据工艺气体的成分来调节稀释气体的气体流量。此外,本发明涉及一种燃烧器(1),其用于在燃烧室(19)中产生火焰(2)以燃烧工艺气体中的有害物质,以及一种废气处理设备,其具有布置在燃烧室(19)中的至少一个燃烧器(1)。