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等离子产生装置及衬底处理装置.pdf

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本发明的等离子产生装置具备电极群与介电质。介电质具有第1主面、及与第1主面为相反侧的第2主面。电极群由介电质密封,包含在与第1主面平行的排列面内交替排列的至少一个第1电极及至少一个第2电极,使通过在第1电极21a与第2电极21b之间施加高频电压而产生的电场,作用于比第1主面3a更外侧。