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本发明属于太阳能电池技术领域,公开了一种TOPCon钝化结构的制备方法。本发明TOPCon钝化结构的制备方法包括以下步骤:(1)炉管内杂质抽空;(2)进行本征多晶硅淀积;(3)将炉管中多余的硅烷抽出;(4)原位掺杂多晶硅层淀积;(5)充惰性气体出舟。本发明还公开了一种TOPCon钝化结构的制备方法得到的结构。该方法有效提高了背钝化层生长速率的同时降低方块电阻,提升了太阳能电池的光电转换效率。