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一种薄膜电阻元件.pdf
2023-05-09
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代瑶****zy
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本实用新型提供了一种薄膜电阻元件,所述薄膜电阻元件包括基板;设置于基板一侧的金属层;设置于所述金属层表面的介电层,所述介电层包括至少1个开口;设置于所述介电层表面的连接层,所述连接层通过介电层的开口与金属层连接;设置于所述连接层表面的电阻层。本实用新型通过设置连接层在介电层表面,并与金属层、电阻层相连接,提高了单位面积的结合力,而且增加了异相材料的结合面积,提高了异相材料间的结合力,使得产品应用可靠性更高,制造稳定性更好。同时,本实用新型将电阻层裸露在金属层的外面,可用于精确的测试和控制电阻阻值,使产品电
2023-05-09
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本发明提供一种薄膜电阻结构，包括从下往上依次叠置的衬底、N型层、噪声抑制层、介质层及电阻层，其中，所述噪声抑制层包括在水平方向上交替排列的N型掺杂层及P型掺杂层。本发明的薄膜电阻结构主要利用噪声抑制层中的交替排列的N型掺杂层及P型掺杂层形成的背靠背双极管结构，在PN结反向偏置时空间电荷区增大了电阻，从而抑制阱区的电势波动或衬底噪声对上层电阻信号传输的影响，提高器件性能的稳定性和可靠性。
2023-06-07
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一种片式薄膜电阻网络.pdf
本发明属于片式薄膜电阻技术领域，具体涉及一种片式薄膜电阻网络，包括陶瓷基片，所述陶瓷基片正面溅镀有电阻膜层，电阻膜层由激光划线切割成若干电阻个体，每个电阻个体表面设有两个正面电极，所述正面电极由下到上包括阻挡层、电极底层和电极表层，所述电阻个体表面位于正面电极之间的部分设有钝化层。本发明相比现有技术具有以下优点：通过溅射钨钛膜层作为阻挡层，能够保护作为正面电极的稳定性，杜绝硫化现象；加工过程条件可控，所得片式薄膜电阻网络的电阻个体的绝对精度达到±0.05%，且对温度系数达到±5×10
2023-06-26
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本发明公开了一种薄膜电阻的制造方法，包括以下步骤：步骤S01：提供一表面覆盖有绝缘层的衬底；步骤S02：在所述衬底上淀积薄膜电阻材料，并图形化薄膜电阻材料；步骤S03：在衬底和薄膜电阻材料上依次淀积金属电极材料、刻蚀停止层和硬掩膜；步骤S04：采用第一种干法刻蚀图形化硬掩膜，并去除光刻胶；步骤S05：采用第二种干法刻蚀继续图形化刻蚀停止层；步骤S06：采用湿法刻蚀继续图形化金属电极材料，形成薄膜电阻。本发明可以避免薄膜电阻的过刻蚀和金属电极的刻蚀残留问题，提高薄膜电阻的精度和可靠性。
2023-11-15
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本发明公开了一种薄膜电阻的制备方法，包括如下步骤：S01：提供表面覆盖有绝缘层的衬底；S02：在衬底上沉积并图形化薄膜电阻材料层；S03：在衬底和薄膜电阻材料层上依次淀积金属电极材料层和硬掩膜层；S04：采用干法刻蚀图形化硬掩膜层并停止于所述金属电极材料层，完全去除所述金属电极材料层台阶处以及台阶之间的硬掩膜层；S05：采用还原性气体处理暴露出来的金属电极材料层表面；S06：采用各向同性刻蚀图形化金属电极材料，去除上述暴露出来的金属电极材料层，形成薄膜电阻。本发明提供的一种薄膜电阻的制备方法，可以避免薄膜
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