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本发明涉及增材制造技术领域,尤其涉及一种电子束增材制造设备及方法。本发明提供的电子束增材制造设备包括真空成形室、成形台装置、粉料供应装置、电子束发射装置以及多级偏转装置,其中,成形台装置和粉料供应装置均位于真空成形室内,粉料供应装置用于将粉料铺设到成形台装置的成形区域内,多级偏转装置用于将电子束发射装置发射的电子束依次偏转分配至成形区域的各个分区上,以在成形区域上成形实体零件。本发明提供的电子束增材制造方法应用于上述电子束增材制造设备,在不损失电子束质量的前提下显著提升了成形区域的范围,仅通过一个电子束发射装置便满足了对大尺寸实体零件制造的需求。