一种汽车清洗装置和清洗方法.pdf
大渊****公主
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一种汽车清洗装置和清洗方法.pdf
本发明公开了一种汽车清洗装置,包括三维测量模块,三维测量模块能够测量汽车表面的三维形态,能够建立汽车的三维模型;包括清洗方案生成模块,清洗方案生成模块能够根据汽车的特征信息和设备信息生成汽车的清洗方案;包括清洗控制模块和至少一清洗执行模块;清洗控制模块能够存储清洗方案;清洗控制模块能够根据清洗方案控制清洗执行模块对表面区块实施所选择的清洗操作。包括特征信息获取模块,特征信息获取模块能够从服务器/上位机获取汽车的三维表面形状信息。包括清洗方案获取模块,清洗方案获取模块能够从服务器或上位机获得/下载清洗方案。
一种硅片清洗方法和清洗装置.pdf
本发明提供一种硅片清洗方法和清洗装置,硅片清洗方法包括以下步骤:在利用药液对硅片进行蚀刻后,将所述硅片浸入盛有超纯水的浸水槽内清洗;取出浸水槽中的硅片后,将硅片依次置于第N冲洗槽、第N‑1冲洗槽、…、第1冲洗槽进行清洗,在第1冲洗槽中清洗结束后,取出硅片并结束清洗;向第1冲洗槽供应清洗液并使其处于溢流状态,第1冲洗槽溢流出的清洗液供应至第2冲洗槽中,以此类推,第N‑1冲洗槽溢流出的清洗液供应至第N冲洗槽;N为大于1的整数。通过上述方法,能够有效清洗硅片表面的药液,降低硅片表面的药液或杂质的残留量,提高清洗
一种新能源汽车用高效挡风玻璃清洗装置和清洗方法.pdf
本发明公开了一种新能源汽车用高效挡风玻璃清洗装置和清洗方法,该清洗装置包括前档玻璃,所述前档玻璃顶部设有出水口,所述出水口顶部设有出水管,所述出水口与出水管固定连接,所述出水管顶部设有储水桶,所述储水桶一侧设有小型水泵。本发明通过设置设有电动伸缩杆、小型水泵和储水桶,有利于通过小型水泵将储水桶内的水喷洒在前档玻璃上,电动伸缩杆带动第一清洗杆和第二清洗杆上下运动,对前档玻璃进行快速全面的清洗,大大提高了工作效率,节约了资源消耗。
一种晶圆清洗装置、设备和清洗方法.pdf
本发明公开一种晶圆清洗装置、设备和清洗方法,晶圆清洗装置包括主驱动组件、从驱动组件和状态检测组件,从驱动组件在主驱动组件的驱动下,带动被清洗晶圆旋转,状态检测组件获取检测被清洗晶圆的旋转状态是否正常的检测数据,从驱动组件在被清洗晶圆的旋转状态异常时,沿第二旋转轴线的延伸方向移动,以使被清洗晶圆的旋转状态正常。由于状态检测组件可以获取检测被清洗晶圆的旋转状态是否正常的检测数据,从驱动组件在被清洗晶圆的旋转状态异常时,沿第二旋转轴线的延伸方向移动,从而使被清洗晶圆的旋转状态正常,即被清洗晶圆的转速正常,进而可
一种晶圆清洗装置和晶圆清洗方法.pdf
本发明提供一种晶圆清洗装置和晶圆清洗方法,包括将晶圆放置在定位器上进行定位;真空发生组件抽真空使得定位器与晶圆之间形成真空;驱动组件驱动定位器旋转,从而驱动晶圆旋转;控制器根据第一清洗指令控制一输气管道向对应的喷嘴输送液态二氧化碳以对晶圆的下表面进行清洗;液态二氧化碳对晶圆的下表面清洗后变成气态二氧化碳进入回收腔体内,回收腔体对气态二氧化碳进行回收。对于晶圆表面纳米尺寸下具有高深宽比的器件微结构,很容易去除水分子等残留物,二氧化碳不仅起到有效的清洁作用,还起到有效的干燥作用,还可以与其他清洗剂混合使用。