管式PECVD真空设备及电池片生产系统.pdf
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管式PECVD真空设备及电池片生产系统.pdf
本实用新型涉及光伏设备技术领域,提供一种管式PECVD真空设备及电池片生产系统。该管式PECVD真空设备,包括:多路第一真空管路;第二真空管路,多路第一真空管路并联连接在第二真空管路的一端;第一控制阀,第一控制阀设于第二真空管路上;第一真空泵,第二真空管路的另一端与第一真空泵连接。本实用新型提供的一种管式PECVD真空设备及电池片生产系统,其通过将多路第一真空管路并联连接在一路第二真空管路,在第二真空管路上连接设置第一控制阀和第一真空泵,使得多路第一真空管路共用一套第一控制阀和第一真空泵,减少第一控制阀和
管式PECVD设备的进出舟装置及管式PECVD设备.pdf
本发明公开了管式PECVD设备的进出舟装置及管式PECVD设备,装置包括支撑架、传送导轨部分和动力部分,传送导轨部分包括承载载料舟的托盘、炉外托盘导轨、炉内托盘导轨和固定导轨,固定导轨的两端支撑在支撑架上,炉外托盘导轨可移动的设于固定导轨上,托盘可移动的设于炉外托盘导轨上,炉内托盘导轨设于炉体反应室内,动力系统包括托盘导轨推动驱动和托盘推动驱动,托盘导轨推动驱动用于驱动炉外托盘导轨移动以便与炉内托盘导轨对接,托盘推动驱动用于驱动托盘从炉外托盘导轨移动至炉内托盘导轨上。设备包括炉体和炉门系统,炉体内设有反应
一种管式PECVD预热系统实验装置.pdf
本发明公开了一种管式PECVD预热系统实验装置,包括预热箱、预热推舟机构、舟体转移机构和转移支撑架,预热箱设于炉体柜的一侧,预热推舟机构包括推舟导轨和推舟杆组,推舟导轨固定在净化台一侧,推舟导轨上设有推舟滑块,推舟杆组一端固定在推舟滑块上,另一端悬空并且朝向预热箱,推舟杆组上设有可在推舟杆组伸入预热箱之后关闭预热箱入口的预热箱门,转移支撑架固定在净化台上,舟体转移机构设于转移支撑架上,舟体转移机构包括舟体抓手、承重底座和升降组件,转移支撑架上设有转移导轨,升降组件设于称重底座上,升降组件与舟体抓手连接,称
管式PECVD生产操作规程ppt课件.ppt
PECVD生产操作规程1安全警告氨气AmmoniaNH33安全与标识3开机3.2启动计算机----开电源后自动启动,输入密码。3.4检查冷却水3.4检查气源3.5启动真空泵在CESAR界面,manal/T-paddle/All/setpoint=4504选择工艺单、生产5关机5.1工艺运行结束后降温5.2关墙壁气箱中特气阀,特气管路吹扫5.3关真空泵5.4退出控制程序,关主电源5.5关上压缩空气、氮气、冷却水PECVD生产操作规程
管式PECVD工艺流程.doc
赛维LDK太阳能高科技(合肥)有限公司文件编号文件名称管式PECVD工艺流程生效日期页码第页共NUMPAGES6页目的制定管式PECVD工序工艺流程规范,作为工艺人员工作依据,保证镀膜质量。适用范围管式PECVD工序所有工艺人员。工艺人员职责3.1负责管式PECVD工序生产工艺运行的正常性、稳定性。3.2负责部门内工艺运行原始资料的累积,保管,随时检查工艺运行状态,并记录异常,积极处理工艺异常。3.3负责应对管式PECVD设备常见、突出、重大的工艺异常,制定落实整改措施、预防措施、应急方案。四、名词