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本实用新型涉及光伏设备技术领域,提供一种管式PECVD真空设备及电池片生产系统。该管式PECVD真空设备,包括:多路第一真空管路;第二真空管路,多路第一真空管路并联连接在第二真空管路的一端;第一控制阀,第一控制阀设于第二真空管路上;第一真空泵,第二真空管路的另一端与第一真空泵连接。本实用新型提供的一种管式PECVD真空设备及电池片生产系统,其通过将多路第一真空管路并联连接在一路第二真空管路,在第二真空管路上连接设置第一控制阀和第一真空泵,使得多路第一真空管路共用一套第一控制阀和第一真空泵,减少第一控制阀和第一真空泵的使用数量,并能够合理布局管路,减小占用空间。