一种半导体设备用制冷装置.pdf

本实用新型公开了一种半导体设备用制冷装置,涉及半导体设备技术领域;包括制冷组件和散热组件;制冷组件包括储液箱、压缩机、液冷板和节流膨胀阀,储液箱通过导管依次连接压缩机、液冷板和节流膨胀阀,储液箱远离压缩机的一端通过导管连接水泵,水泵连接节流膨胀阀;储液箱内填充有冷却液,储液箱上安装有半导体制冷片,半导体制冷片连接散热组件;液冷板为中空结构且连通两侧的导管。本装置利用了冷却液蒸发和冷凝的过程进行快速的吸热和散热,通过制冷的方式使芯片在高温环境下也能够快速散热,同时使用了半导体制冷器产生极大的温差,进一步提高了散热的效率。