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本发明公开了一种多元叠层结构硬质涂层及利用反应磁控多弧线圈真空镀膜设备制备多元叠层结构硬质涂层的方法,包括以下步骤:a)对基片净化和超声清洗;b)对基片表面进行气体放电轰击,以去除基片表面的杂质和油污,活化表面;c)在一定气压条件下,采用反应磁控多弧线圈真空镀膜设备在基片表面形成多元叠层结构硬质涂层;多元叠层结构硬质涂层为CrAlSiN、TiAlN、CrAlN、Cr中的两种或者多种膜层。本发明的整个制备工艺过程简单,可操作性强,镀膜工艺在真空室内完成,工艺节能绿色环保,更主要的是制备工艺沉积速率快,镀膜效率高,薄膜硬度高,膜层与基片之间附着力更强,硬质膜的表面粗糙度更低,且耐高温耐摩擦。