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一种还原炉喷涂装置及还原炉喷涂系统.pdf
2023-04-19
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雨巷****珺琦
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本实用新型提供了一种还原炉喷涂装置及还原炉喷涂系统,涉及多晶硅生产设备技术领域。该还原炉喷涂装置包括:支撑底座,用于固定安装还原炉,所述支撑底座内部与所述还原炉内部形成有一容置空间;第一驱动机构,设置于所述容置空间内;喷涂组件,与所述第一驱动机构固定连接,所述喷涂组件用于向所述还原炉的内壁喷涂涂料;其中,所述第一驱动机构驱动所述喷涂组件进行轴向运动和/或圆周运动。本实用新型的方案,解决了现有技术在对还原炉内壁进行喷涂时,需要将还原炉高速旋转所带来的安全性低且能耗成本大的问题。
2023-04-19
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还原炉钟罩内壁喷涂装置、喷涂方法和还原炉.pdf
本发明提供了一种还原炉钟罩内壁喷涂装置、喷涂方法和还原炉，涉及多晶硅装备技术领域。该喷涂装置包括钟罩、旋转部件、密封部件、抽真空部件、排气部件和冷气体动力喷涂部件，利用密封部件使得钟罩内部形成密闭空间后，通过抽真空部件、冷气体动力喷涂部件和排气部件使钟罩内部处于高温保护性气体氛围下，再采用冷气体动力喷涂部件向钟罩内壁喷涂粉末使其在钟罩内壁形成涂层，其中，在喷涂前使钟罩内部处于高温保护性气体氛围下可避免喷涂过程中涂层发生氧化，能够最大限度保留涂层材料的本征性能，同时，利用高温保护性气体将钟罩内壁预热，使得在
2023-06-16
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一种还原炉冷喷涂系统及喷涂方法.pdf
本发明公开了一种还原炉冷喷涂系统及喷涂方法，还原炉冷喷涂系统，该系统包括有气体工作站、气体预加热器、气体加热器、粉末填充装置、喷枪、中央控制单元、自动机械臂、还原炉钟罩支架和还原炉钟罩清洗工作站，还原炉钟罩支架推动还原炉钟罩做圆周运动，而喷枪做往复直线运动和往复圆弧运动，工作载气携带原材料粉末从喷枪喷在还原炉钟罩的内表面形成涂层。本发明提供的喷涂系统及方法可以实现还原炉内壁在大气气氛中的高速喷涂，所有监控和调控均在中央控制单元进行，可实现还原炉钟罩内壁喷涂的全自动化和智能化；两级加热可以将载气和原料的污染
2023-06-17
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2023-06-17
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