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一种外延设备的反应腔结构.pdf

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本实用新型公开一种外延设备的反应腔结构,涉及碳化硅生产设备技术领域,包括隔热筒、加热筒和晶圆托盘;隔热筒内设置有隔热腔,隔热腔用于容纳加热筒;加热筒内设置有托盘腔室,托盘腔室用于容纳晶圆托盘;晶圆托盘可转动的设置于加热筒内。外部是由隔热筒组成的隔热腔,内部中空区域大小与方形加热筒一致,隔热腔挖空区域较少,故厚度较大,保温效果较好;内部的方形加热筒由两部分组成,上部加热盖片只是简单的较薄的立方体结构,加工较为简单,且用料较少,相对于上半月加热筒而言,大大降低了时间和制造成本,且长时间的外延过程中,表面会附着副产物,这就相对于更换上半月加热筒而言,更换上部加热盖片的成本更低,且操作更加方便简洁。