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一种多通道芯片检选机.pdf

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本实用新型旨在提供了一种多通道芯片检选机。本实用新型包括基台、晶圆组件、定位分拣组件和多通道料盘轨道组件,晶圆组件包括晶圆提篮、晶圆移载组件和晶圆治具,定位分拣组件包括多轴组件、芯片分类定位组件、芯片夹爪和料盘定位组件,多轴组件包括多轴机架、Z轴组件、第一YZ轴组件和第二YZ轴组件,多轴机架设置在基台上,Z轴组件、第一YZ轴组件和第二YZ轴组件均设置多轴机架上,芯片夹爪设置在第一YZ轴组件的活动端,料盘定位组件设置在第二YZ轴组件的活动端,多通道料盘轨道组件包括第一支撑架、第二支撑架、进出料组件、缓存组件和四工位料盘组件。本实用新型可应用于芯片检选机输送轨道技术领域。