发明授权-201910384100.1-3D基板输送装置及3D基板清洗机.pdf
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发明授权-201910384100.1-3D基板输送装置及3D基板清洗机.pdf
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号CN110323167B(45)授权公告日2021.10.01(21)申请号201910384100.1H01L21/67(2006.01)(22)申请日2019.05.09(56)对比文件(65)同一申请的已公布的文献号US2017129472A1,2017.05.11申请公布号CN110323167AUS2014111574A1,2014.04.24(43)申请公布日2019.10.11审查员周辉辉(73)专利权人京东方科技集团股份
3D基板输送装置及3D基板清洗机.pdf
本申请公开了一种3D基板输送装置及3D基板清洗机,其中,3D基板输送装置,包括滚轴输送单元,所述滚轴输送单元包括至少两列限位滚轮,所述两列限位滚轮的相对面用于界定3D基板的限位输送通道。上述方案,通过滚轮界定了限位输送通道,在清洗过程中,3D基板凹面向下的扣在限位输送通道进行输送,滚轮可以对3D基板的边缘进行限位,防止3D基板在输送过程中发生位置偏移而导致被划伤,因此提高了成品率,降低了废弃成本。
输送辊及基板输送装置、基板清洗机.pdf
本发明提供了一种输送辊,包括辊轮轴以及设于辊轮轴上的辊轮,所述辊轮的表面上设有至少一圈毛刷。本发明还提供了一种基板输送装置,包括多个输送辊,所述输送辊包括辊轮轴以及设于辊轮轴上的辊轮,所述辊轮的表面上设有至少一圈毛刷,毛刷用于与基板接触以及支撑基板。本发明还提供了一种基板清洗机,包括清洗机构,还包括所述的基板输送装置。与现有技术相比,通过在辊轮的表面上设置一圈毛刷,从而是与基板接触的面积减少,这样能够避免辊轮对基板造成的磨损而产生的微粒,同时提高基板良率,而且毛刷能够对基板的背面进行清洁,清洁度更好,也大
发明授权-201410100796.8-基板处理装置和基板处理方法.pdf
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号CN104064496B(45)授权公告日2017.10.13(21)申请号201410100796.8(51)Int.Cl.(22)申请日2014.03.18H01L21/67(2006.01)H01L21/02(2006.01)(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN104064496A(56)对比文件US2012/0260517A1,2012.10.18,(43)申请公布日2014.09.24CN101414547A,200
发明授权-201710432802.3-基板处理方法和基板处理装置.pdf
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号CN107256842B(45)授权公告日2021.06.04(21)申请号201710432802.3林义典(22)申请日2014.09.26(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限(65)同一申请的已公布的文献号公司11127申请公布号CN107256842A代理人丁香兰庞东成(43)申请公布日2017.10.17(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)(30)优先权数据H01L21/311(2006.01)J