3D基板输送装置及3D基板清洗机.pdf
雨巷****碧易
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3D基板输送装置及3D基板清洗机.pdf
本申请公开了一种3D基板输送装置及3D基板清洗机,其中,3D基板输送装置,包括滚轴输送单元,所述滚轴输送单元包括至少两列限位滚轮,所述两列限位滚轮的相对面用于界定3D基板的限位输送通道。上述方案,通过滚轮界定了限位输送通道,在清洗过程中,3D基板凹面向下的扣在限位输送通道进行输送,滚轮可以对3D基板的边缘进行限位,防止3D基板在输送过程中发生位置偏移而导致被划伤,因此提高了成品率,降低了废弃成本。
发明授权-201910384100.1-3D基板输送装置及3D基板清洗机.pdf
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号CN110323167B(45)授权公告日2021.10.01(21)申请号201910384100.1H01L21/67(2006.01)(22)申请日2019.05.09(56)对比文件(65)同一申请的已公布的文献号US2017129472A1,2017.05.11申请公布号CN110323167AUS2014111574A1,2014.04.24(43)申请公布日2019.10.11审查员周辉辉(73)专利权人京东方科技集团股份
输送辊及基板输送装置、基板清洗机.pdf
本发明提供了一种输送辊,包括辊轮轴以及设于辊轮轴上的辊轮,所述辊轮的表面上设有至少一圈毛刷。本发明还提供了一种基板输送装置,包括多个输送辊,所述输送辊包括辊轮轴以及设于辊轮轴上的辊轮,所述辊轮的表面上设有至少一圈毛刷,毛刷用于与基板接触以及支撑基板。本发明还提供了一种基板清洗机,包括清洗机构,还包括所述的基板输送装置。与现有技术相比,通过在辊轮的表面上设置一圈毛刷,从而是与基板接触的面积减少,这样能够避免辊轮对基板造成的磨损而产生的微粒,同时提高基板良率,而且毛刷能够对基板的背面进行清洁,清洁度更好,也大
基板输送装置.pdf
一种基板输送装置,其包含有至少一位移组,其具有至少一悬臂与一升降模块与一横移模块,该横移模块设于输送轮的下方,该升降模块设于该横移模块,该悬臂的一端耦接该升降模块,该悬臂的另一端可选择性延伸至该输送轮之间;如前所述,通过升降模块及横移模块,以达到悬臂升降横移的效果,进而能够节省空间及降低成本,并且能快速地完成基板交换的程序。
基板输送装置.pdf
本发明公开一种基板输送装置,其包含动力源、输送轮及清洁轮。输送轮与动力源直接或间接地连动,以接受驱动力而驱使输送轮以第一转向转动,进而产生沿推进路径上的推进力以推动基板前进。清洁轮设置在推进路径上,且与输送轮相对。清洁轮并直接或间接地与动力源连动,以接受驱动力而驱使清洁轮以第二转向转动,其中第二转向与第一转向相反。输送轮的轮面由第一材质形成,或至少包含第一材质;而清洁轮的轮面优选由不同于第一材质的第二材质所形成。