皮秒激光加工研究进展与展望.pdf
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皮秒激光加工研究进展与展望.pdf
皮秒激光加工研究进展与展望李平雪;辛承聪;高健;张天松;肖坤;董雪岩;李舜;王婷婷;苏宁【期刊名称】《激光与红外》【年(卷),期】2018(048)010【摘要】皮秒激光加工作为一种先进的超快加工技术,以其“冷加工”、高重复频率和高脉冲能量等特点,可实现对多种材料高精度、高效率的微细加工,在精密机械、表面工程、生物医学等领域具有广阔的应用范围和前景.综述了皮秒激光用于金属薄板及硬脆性材料的微孔加工、切割划线以及用于钛酸锶、氧化锆等材料表面改性方面的研究进展,从工艺参数优化、配套装备改进等方面探讨了皮秒激光
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一种皮秒激光加工设备.pdf
本发明涉及激光加工技术领域,提供一种皮秒激光加工设备,用于对脆性材料进行加工,包括皮秒激光振镜系统、机器视觉系统、控制系统、工作台、运动系统和运动控制系统;所述皮秒激光振镜系统和所述机器视觉系统设置在所述工作台上方,所述皮秒激光振镜系统和所述运动系统与所述运动控制系统电性连接,所述运动系统与所述工作台机械连接,所述皮秒激光振镜系统、所述机器视觉系统、所述工作台和所述运动控制系统均与所述控制系统电性连接。通过皮秒激光加工工艺,实现脆性材料的皮秒激光精密加工。本发明实施例可以实现对具有深层强化层的脆性材料上加
飞秒激光微加工技术的评述与展望.pdf
飞秒激光微加工技术的评述与展望黄佑香,张庆茂,廖健宏,周永恒(华南师范大学激光加工实验室,广东广州510006)摘要:综述了飞秒激光微加工技术国内外的研究现状,介绍了飞秒激光微加工在光学、微电子及生物医学等领域的应用,展望了飞秒激光微加工技术未来发展的趋势以及需要解决的关键技术。关键词:飞秒激光;应用;微加工;进展中图分类号:TN249;TG665文献标识码:A文章编号:025426051(2008)0620008206Reviewandprospectsoffemtosecondlasermicro2p